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龙图腾网获悉上海则欧机电科技有限公司申请的专利适用于EUV光刻机的高洁净度复合分子泵获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121229420B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511803562.4，技术领域涉及：F04D19/04；该发明授权适用于EUV光刻机的高洁净度复合分子泵是由田东伟;段金生设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本适用于EUV光刻机的高洁净度复合分子泵在说明书摘要公布了：本发明提供了一种适用于EUV光刻机的高洁净度复合分子泵，包括壳体总成、电机、定子总成、转子总成、以及主轴；转子总成上设置有涡轮压缩机构、一级牵引轮压缩机构、涡旋叶列压缩机构以及二级牵引轮压缩机构，以上压缩机构从上游至下游依次设置；一级牵引轮压缩机构为常规设计；二级牵引轮压缩机构设置在转子总成的内侧壁，且二级牵引轮压缩机构的气路出口最终均与壳体总成所具有的二级排气口连通并实现排气；本发明通过在转子上配置二级牵引轮压缩机构，利用螺旋的高速运转赋予各种污染物更高的动量，将其有效排出。这样通过与常规分子泵吹扫路径相反的设计，有效将污染物排出，保障光刻机的超高洁净度。

本发明授权适用于EUV光刻机的高洁净度复合分子泵在权利要求书中公布了：1.一种适用于EUV光刻机的高洁净度复合分子泵，其特征在于，包括壳体总成、电机10、转子总成、以及主轴38； 所述壳体总成包括位于内部的定子总成，主轴38可旋转安装在定子总成内部轴孔中，转子总成安装在壳体总成内，并与主轴38同轴固定连接，电机10安装在定子总成上，用于驱动主轴38旋转； 所述转子总成上设置有涡轮压缩机构、一级牵引轮压缩机构、涡旋压缩机构以及二级牵引轮压缩机构，其中，涡轮压缩机构、一级牵引轮压缩机构、涡旋压缩机构以及二级牵引轮压缩机构从上游至下游依次设置； 所述二级牵引轮压缩机构设置在转子总成的内侧壁，包括旋向相反的第三牵引轮26和第四牵引轮31，第三牵引轮26与壳体总成底部的二级排气口15直接相连，第四牵引轮31与轴孔顶部连通，并通过轴孔底部与二级排气口15相连； 抽气时，气体依次经过涡轮压缩机构、一级牵引轮压缩机构、涡旋压缩机构以及二级牵引轮压缩机构，二级牵引轮压缩机构中，一部分气体及污染物经第四牵引轮31并通过轴孔底部从二级排气口15排出，另一部分气体经第三牵引轮26直接从二级排气口15排出； 所述转子总成包括： 涡轮转子7，位于转子总成上部，涡轮转子7外部的涡轮结构与壳体总成内壁的定片形成涡轮压缩机构，涡轮转子7的内部设置有第四牵引轮31，所述第四牵引轮31与第三牵引轮26共同作为二级牵引轮压缩机构； 牵引轮转子，位于转子总成下部，作为一级牵引轮压缩机构； 涡旋叶列9，位于转子总成下部且设置在牵引轮转子内侧，与壳体总成所具有的涡旋导流槽之间形成涡旋压缩机构； 所述涡轮压缩机构的气路入口与壳体总成顶部的进气口40连通，涡轮压缩机构的气路出口连通一级牵引轮压缩机构的气路入口，一级牵引轮压缩机构的气路出口与涡旋压缩机构的气路入口连通； 所述涡旋压缩机构的气路出口同时与第三牵引轮26、第四牵引轮31的气路入口连通，第三牵引轮26的气路出口直接与二级排气口15连通，第四牵引轮31的气路出口与主轴38所在的轴孔顶部连通，经轴孔底部与二级排气口15连通。

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