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龙图腾网获悉大连榕树光学有限公司申请的专利一种用于干法蚀刻的尾气处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121130545B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511687694.5，技术领域涉及：B01D46/44；该发明授权一种用于干法蚀刻的尾气处理设备是由付志江;张赞秋;随继平;叶东国;高岩;李鹏鹏设计研发完成，并于2025-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于干法蚀刻的尾气处理设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于干法蚀刻的尾气处理设备，涉及尾气处理技术领域。本发明包括一级尾气管，所述一级尾气管的一端转动套接有进气转接套管，所述进气转接套管的周侧固定安装有与所述进气转接套管内部相连通的U形滤气管，所述一级尾气管的内部设置有一级进气管，所述一级尾气管位于所述进气转接套管内部的一端固定套接有第一密封胶套。本发明通过设置换位电机，使得换位电机带动进气转接套管围绕一级尾气管旋转，进而带动多个U形滤气管和出气转接套管同步转动，使第二个U形滤气管转至与第一滤气孔、第二滤气孔对接，从而使尾气可以被第二个滤膜管过滤，只需短暂时间即可恢复尾气处理作业，无需长时间停机处理，保证了处理效率。

本发明授权一种用于干法蚀刻的尾气处理设备在权利要求书中公布了：1.一种用于干法蚀刻的尾气处理设备，其特征在于，包括一级尾气管1，所述一级尾气管1的一端转动套接有进气转接套管2，所述进气转接套管2的周侧固定安装有与所述进气转接套管2内部相连通的U形滤气管3，所述一级尾气管1的内部设置有一级进气管4，所述一级尾气管1位于所述进气转接套管2内部的一端固定套接有第一密封胶套5，所述第一密封胶套5的侧壁上开设有第一滤气孔501，所述一级进气管4的一端延伸至所述一级尾气管1的外部并与所述第一滤气孔501相连通，所述第一滤气孔501的位置与所述U形滤气管3的位置相对应，所述U形滤气管3靠近所述进气转接套管2的一端内部固定安装有增压管6，所述增压管6的一端固定安装有滤膜管7，所述U形滤气管3的内部固定安装有两个悬挂架8，两个所述悬挂架8分别固定套接在所述滤膜管7的两端，所述一级尾气管1上固定套接有电机架25，所述电机架25的一侧固定安装有换位电机26，所述进气转接套管2上转动套接有齿轮套箱27，所述换位电机26与所述齿轮套箱27固定连接，所述换位电机26的输出轴延伸至所述齿轮套箱27的内部并固定套接有传动齿轮28，所述进气转接套管2的一端固定套接有与所述传动齿轮28相啮合的从动齿环29，多个所述U形滤气管3的另一端固定安装有同一个出气转接套管30，所述出气转接套管30的内部转动安装有二级尾气管9，所述二级尾气管9的内部设置有二级进气管11，所述二级进气管11位于所述出气转接套管30内部的一端固定套接有第二密封胶套10，所述第一密封胶套5的侧壁上开设有第一输水孔502，所述一级尾气管1的内部设置有第一测试气管19，所述第一密封胶套5的侧壁上开设有第一测试气孔503，所述第一测试气孔503位于所述第一滤气孔501、所述第一输水孔502的轴线所在的竖直面的其中一侧，所述第一测试气管19的一端延伸至所述一级尾气管1外部并与所述第一测试气孔503相连通，所述第一测试气孔503的位置与所述U形滤气管3的位置相对应，所述二级尾气管9的内部设置有第二测试气管20，所述第二密封胶套10的侧壁上开设有第二测试气孔1003，所述第二测试气管20的一端延伸至所述二级尾气管9外部并与所述第二测试气孔1003相连通，所述第二测试气孔1003的位置与所述第一测试气孔503的位置相对应。

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