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龙图腾网获悉长春理工大学申请的专利一种N+1束激光干涉光刻系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121115429B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511677896.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种N+1束激光干涉光刻系统是由董莉彤;梁晓琨;刘梦楠;王璐;于淼;袁安刚;王作斌设计研发完成，并于2025-11-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种N+1束激光干涉光刻系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种N+1束激光干涉光刻系统，包括：光源模块，利用电控时钟阀门装置控制激光器发射的激光束的曝光剂量，并控制其以45°入射至旋转分光模块；旋转分光模块，对激光束进行分振幅分光，得到能量相近的N+1束相干光束，并调制N束边缘相干光束的空间位置；光束臂，用于控制1束中心相干光束直接入射至能够360°旋转且三维移动的样品台；以及分别控制N束边缘相干光束以指定的入射角度与1束中心相干光束从同侧或者不同侧入射至样品台；样品台，放置有基板材料，通过将N+1束相干光束进行汇聚，从而制备出双面周期或者立体周期微纳三维结构。该系统能够灵活调控分光比、光束偏振态、干涉角度、参与光束数量，以获得更多参数、图案变化的周期性结构。

本发明授权一种N+1束激光干涉光刻系统在权利要求书中公布了：1.一种N+1束激光干涉光刻系统，其特征在于，所述系统包括： 光源模块1，利用电控时钟阀门装置控制激光器发射的激光束的曝光剂量，并使用反射镜组控制激光束以45°入射至旋转分光模块2； 所述旋转分光模块2，用于对激光束进行分振幅分光，得到能量相近的N+1束相干光束，并分别调制N束边缘相干光束的空间位置； 第一光束臂3，设置于主光轴上，用于控制位于主光轴的1束中心相干光束直接入射至能够360°旋转且三维移动的样品台5； 第二光束臂4，设置于每个边缘相干光束的传输路径上，用于分别控制N束边缘相干光束以指定的入射角度与1束中心相干光束从同侧或者不同侧入射至所述样品台5； 所述样品台5，放置有旋涂光敏材料的基板材料，通过将同侧或者不同侧入射的N+1束相干光束进行汇聚，在所述基板材料上形成三维干涉光场，从而制备出双面周期或者立体周期微纳三维结构； 所述旋转分光模块2，包括：N个立方体笼式镜架21、N个分光镜、N个12波片和N-1个旋转组件22； 所述立方体笼式镜架21为带中空安装腔的立方体结构，用于嵌装所述分光镜和12波片，且所述12波片置于所述分光镜之后，用于调节各相干光束的相位延迟； 设置N个分光镜的厚度均不超过1mm，分光比依次为N:1，N-1:1，N-2:1，N-3:1，N最小为2，最大为4； 每个立方体笼式镜架21的内壁设置有定位结构，用于精准限位所述分光镜的安装倾角为45°；其中，所述安装倾角是指分光界面与激光入射方向之间的夹角。

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