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龙图腾网获悉上海大学申请的专利一种全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121067925B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511621837.2，技术领域涉及：G01D5/26；该发明授权一种全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器及其制备方法是由张小贝;尧耀文;张琦;陈宁;王廷云设计研发完成，并于2025-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器及其制备方法，属于微腔激光器技术领域。本申请的全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器，包括：石英基底，石英基底上刻有T型凹槽；光纤锥，光纤锥横向放置在石英基底的T型凹槽内部；掺杂石英回音壁微球，带有尾纤的掺杂石英回音壁微球竖向放置在石英基底的T型凹槽内部，且掺杂石英回音壁微球与光纤锥直接接触耦合。本申请提供的全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器将光纤锥‑微球耦合系统封装在石英基底凹槽内，具备小型化、集成度高、结构稳定等特点，在高温、高压、腐蚀等环境下表现出良好可靠性，适用于各种高温测量和检测场景。

本发明授权一种全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器，其特征在于，所述全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器包括： 石英基底，所述石英基底上刻有T型凹槽； 光纤锥，所述光纤锥横向放置在所述石英基底的T型凹槽内部； 掺杂石英回音壁微球，带有尾纤的所述掺杂石英回音壁微球竖向放置在所述石英基底的T型凹槽内部，且所述掺杂石英回音壁微球与所述光纤锥直接接触耦合； 所述全石英封装的掺杂石英回音壁微球传感器的制备方法，包括以下步骤： S1、制备石英浆料和掺杂稀土离子的石英浆料：将SiO2粉末、Al2O3、去离子水按一定质量比混合，得到石英浆料；将含稀土离子的化合物、SiO2粉末、Al2O3、去离子水按一定质量比混合，放入行星球磨机研磨两天后加入HPMC，得到研磨后的混合材料；将所述研磨后的混合材料放入真空脱泡搅拌机中搅拌脱泡，制得粘性适中、无气泡、无结块的掺杂稀土离子的石英浆料； S2、制备掺杂石英回音壁微球：将所述掺杂稀土离子的石英浆料装入精密点胶机中；将带有PVC套管的一段单模光纤一端剥去套管及涂覆层，得到去除涂覆层的单模光纤，并用光纤切割刀切平，随后夹持到电动光纤旋转夹具中，将夹持单模光纤的电动光纤旋转夹具固定在高精度三维位移台上；在CCD的观察下，通过控制三维位移台移动及精密点胶机的挤料速度和时间，将所述掺杂稀土离子的石英浆料挤出并涂覆到电动光纤旋转夹具夹持的光纤包层表面；控制高精度三维位移台的移动使CO2激光器光束垂直照射到包层表面涂覆有掺杂稀土离子石英浆料的单模光纤；打开电动光纤旋转夹具开关，使光纤以一定转速旋转；同时设置CO2激光器出光功率、出光时间、聚焦高度；开启激光，涂覆有掺杂稀土离子石英浆料的单模光纤在激光加热的作用下融化，同时在旋转过程中形成质量均匀分布的掺杂石英回音壁微球； S3、制备全石英封装掺杂石英回音壁微球传感器：使用CO2激光器在石英基底刻蚀出T型凹槽；将氢氧焰法拉制的光纤锥横向放入T型凹槽内部，并在光纤锥两端涂覆石英浆料；利用CO2激光器加热干燥并烧结涂覆的石英浆料，形成熔融石英实现光纤锥固定；在CCD的观察下，利用三维位移台将所述掺杂石英回音壁微球与所述光纤锥耦合，所述掺杂石英回音壁微球竖直放置在T型凹槽内部；将所述掺杂石英回音壁微球的尾纤涂覆石英浆料，干燥烧结后形成熔融石英实现掺杂石英回音壁微球的全石英封装。

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