上海车仪田科技有限公司刘新阳获国家专利权
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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利MOCVD设备的卫星盘转速检测方法、系统、计算机设备及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121049533B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511587283.9，技术领域涉及：G01P3/36；该发明授权MOCVD设备的卫星盘转速检测方法、系统、计算机设备及存储介质是由刘新阳;张黎明;徐秋生;刘杰设计研发完成，并于2025-11-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本MOCVD设备的卫星盘转速检测方法、系统、计算机设备及存储介质在说明书摘要公布了：本申请提供了一种MOCVD设备的卫星盘转速检测方法、系统、计算机设备及存储介质，涉及半导体检测技术领域，本申请通过时域和频域融合、以及状态估计算法，从噪声中精确提取微弱的转速特征信号，显著提高转速特征在强噪声背景下的检出能力与峰位稳定性；以融合结果作为初始值并引入系统动力学的状态估计，能够实现毫秒级实时更新与高精度转速解析；预设的系统动力学模型能够动态融合当前观测值与历史状态，有效抑制了因气流扰动、机械振动及电磁干扰带来的随机误差，输出结果平滑、稳定，极大增强了可靠性。
本发明授权MOCVD设备的卫星盘转速检测方法、系统、计算机设备及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种MOCVD设备的卫星盘转速检测方法，其特征在于，所述方法包括: 获取设置于行星式反应腔内的晶圆表面的光谱反射信号； 对所述光谱反射信号进行时域分析，获取所述光谱反射信号中对应卫星盘的周期性脉冲信号，得到时域转速信息； 对所述光谱反射信号进行频域分析，提取预设时间内的所述光谱反射信号，并对其进行傅里叶变换，得到频域信号，识别所述频域信号中对应卫星盘的峰值信息，得到频域转速信息； 融合解析时域转速信息和频域转速信息，得到转速初始信息； 基于预设的系统动力学模型，以所述转速初始信息为观测量，对卫星盘的自转状态进行预测，形成先验状态及其不确定度；并采用卡尔曼滤波算法对所述转速初始信息进行观测更新，将先验状态与观测量按各自不确定度动态加权融合，得到实时最优转速信息。
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