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龙图腾网获悉合肥先微半导体材料有限公司申请的专利一种磷烷混合气充装方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121048091B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511601766.X，技术领域涉及：F17C5/00；该发明授权一种磷烷混合气充装方法是由董宜忠设计研发完成，并于2025-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种磷烷混合气充装方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种磷烷混合气充装方法，本发明涉及混合气体技术领域，包括仪器前处理、分步充装、后真空处理、质量检测以及安全监控，本发明的优点在于：通过在磷烷和氩气进行充装的过程中在充装管道中加入混合促进剂，能够通过提供大量的活性位点以及独特的气体扩散通道，加速磷烷和氩气的均匀混合，提高混合气配比的均匀性和准确性，在促进剂与气体作用的过程中，氩气分子在纳米多孔材料的特殊结构引导下，与解离吸附后的磷原子充分接触碰撞，促进二者快速均匀混合，形成稳定且配比精准的磷烷混合气，整个过程中，混合促进剂持续发挥作用，使得充装过程中混合气的均匀混合效率相比传统方式有较大提高。

本发明授权一种磷烷混合气充装方法在权利要求书中公布了：1.一种磷烷混合气充装方法，包括仪器前处理、分步充装、后真空处理、质量检测以及安全监控，其特征在于：所述磷烷混合气充装方法具体操作步骤如下： 步骤一、准备充装仪器，仪器包含微纳级流量传感器、高精度质量流量控制器以及原位气体成分分析仪，将充装仪器与气瓶连接，并对其进行真空脱气处理； 步骤二、开启氩气充装通道，向气瓶内充装氩气至目标体积的60%，充装过程中持续监测充装流量，充装完成后停止充装； 步骤三、氩气充装完成后，停顿2min，使用原位气体成分分析仪确认瓶内氩气状态后开启磷烷和氩气的充装通道，通过高精度质量流量控制器设定二者初始充装速率，微纳级流量传感器实时监测流量，原位气体成分分析仪每2s-3s反馈混合气成分及压力，当磷烷和氩气体积占比偏离目标值0.02%时动态调整流量，精准控制混合气配比； 步骤四、充装完成后，关闭所有气体充装阀门，使用真空泵对气瓶以及连接管道进行后真空处理，并使用氦质谱检漏仪检测充装装置气密性； 步骤五、使用高精度光谱分析仪对气瓶内充装的混合气成分进行最终检测，确定磷烷与氩气的实际体积比与目标体积比的误差在±0.02%以内，充装过程结束； 所述步骤三中，在氩气充装完成后，停顿2min，将气体分布均匀，停顿结束后，使用原位气体成分分析仪对气瓶内氩气状态进行分析，包括氩气纯度、杂质含量以及气瓶内压力范围，确认氩气状态合格后，开启磷烷和氩气的充装通道，使用高精度质量流量控制器分别设定磷烷和氩气的初始充装速率，设定磷烷的初始充装速率为0.4Lmin-0.6Lmin，设定氩气的初始充装速率为1.3Lmin-1.7Lmin，同时在充装管道中添加气体均匀混合促进剂，其由纳米多孔材料负载活性金属催化剂制成，化学式为PdAl2O3，在充装过程中，微纳级流量传感器持续对磷烷和氩气的实时流量进行高精度监测，原位气体成分分析仪每2s反馈一次气瓶内混合气的成分以及压力情况，在通过光谱分析监测到磷烷和氩气的体积占比相对目标值偏离0.02%时，控制系统根据实时数据进行动态流量调整； 混合促进剂与气体的作用原理在充装过程中，磷烷分子会吸附在Pd活性位点上发生解离吸附过程，反应方程式如下： ； ； ； 所生成的原子态与氩气均匀混合，同时氢气能够从多孔材料中扩散出去，持续充装直至气瓶内充装的混合气达到目标体积。

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