四川红华实业有限公司李海军获国家专利权
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龙图腾网获悉四川红华实业有限公司申请的专利一种离子源检测装置及检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121038076B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511576377.6,技术领域涉及:H05H1/00;该发明授权一种离子源检测装置及检测方法是由李海军;杨少华;苗凯;刘青;李皓云;杨帆;黄帅;王睿;宋祎鹏;王小维;张瑞娟;单丹;陈旺;杨佳奇;刘宇;廉杰;石姜璐;王一伊;吴静设计研发完成,并于2025-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子源检测装置及检测方法在说明书摘要公布了:本发明涉及离子源检测技术领域,尤其涉及一种离子源检测装置及检测方法,旨在解决现有检测装置的探针干扰检测精度的问题。本发明提供的离子源检测装置包括径向移动组件、轴向移动组件和朗缪尔探针;多个朗缪尔探针安装于径向移动组件并绕离子束的轴线环形均布,径向移动组件安装于轴向移动组件;轴向移动组件用于带动径向移动组件沿轴向移动,径向移动组件用于带动朗缪尔探针沿径向靠近或远离离子束的轴线。本发明通过环形阵列的朗缪尔探针保证对离子束的全面检测,通过轴向移动组件将环形阵列的朗缪尔探针移动至不同位置进行检测可以避免沿离子束长度方向排布的朗缪尔探针相互干扰,避免了探针干扰检测精度的问题。
本发明授权一种离子源检测装置及检测方法在权利要求书中公布了:1.一种离子源检测装置,其特征在于,包括径向移动组件100、轴向移动组件200和朗缪尔探针300;以离子束10的轴线方向为轴向,与离子束10的轴线垂直相交的方向为径向; 多个所述朗缪尔探针300安装于所述径向移动组件100并绕离子束10的轴线环形均布,所述径向移动组件100安装于所述轴向移动组件200; 所述轴向移动组件200用于带动所述径向移动组件100沿轴向移动,所述径向移动组件100用于带动所述朗缪尔探针300沿径向靠近或远离所述离子束10的轴线; 所述径向移动组件100包括基座110、探针座120和夹盘130; 所述朗缪尔探针300安装于所述探针座120,多个所述探针座120滑动安装于所述基座110并绕离子束10的轴线环形均布; 所述夹盘130转动安装于所述基座110,配置为能够绕离子束10的轴线转动; 所述探针座120上设置有调位销121,所述基座110上设置有沿径向延伸的径向槽,所述夹盘130上设置有偏心调位槽131;所述调位销121同时插装于所述径向槽和所述偏心调位槽131;所述夹盘130转动以使所述偏心调位槽131推动所述调位销121沿所述径向槽滑动; 所述轴向移动组件200包括空腔壳体210、螺杆220和导向柱230; 所述螺杆220安装于所述空腔壳体210,所述导向柱230安装于所述空腔壳体210并与所述螺杆220平行设置,所述基座110套装于所述导向柱230并沿所述导向柱230滑动; 所述轴向移动组件200还包括斜齿轮240;所述斜齿轮240转动安装于所述基座110并与所述螺杆220啮合,配置为能够绕自身轴线转动以驱动所述基座110沿所述导向柱230移动。
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