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辽宁汉京半导体材料有限公司王兴获国家专利权

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龙图腾网获悉辽宁汉京半导体材料有限公司申请的专利一种用于退火石英舟的自动搬舟装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121035030B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511549763.6,技术领域涉及:H10P72/30;该发明授权一种用于退火石英舟的自动搬舟装置是由王兴;朱嘉宁设计研发完成,并于2025-10-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于退火石英舟的自动搬舟装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种用于退火石英舟的自动搬舟装置,涉及半导体输送技术领域,包括搬舟组件,搬舟组件用于将石英舟从退火炉中取出或将石英舟运入退火炉中,搬舟组件包括AGV小车,AGV小车的顶面固定安装有电动伸缩杆一,电动伸缩杆一的伸缩轴端朝上固定连接有搁置台,搁置台的顶面固定连接有固定块,固定块上对称滑动连接有两个侧滑板,固定块上固定连接有电动伸缩杆二,电动伸缩杆二的伸缩轴端对称固定连接有两个电动伸缩杆三。通过搬舟组件的运行,设计了自动调节夹持范围,能兼容不同尺寸、不同形状的石英舟,提高了搬舟组件使用的通用性,通过自动化夹持的设计,可以实现退火石英舟与退火炉炉口的精准对接,确保舟体完全进入炉内均匀温区。

本发明授权一种用于退火石英舟的自动搬舟装置在权利要求书中公布了:1.一种用于退火石英舟的自动搬舟装置,其特征在于:包括搬舟组件,搬舟组件包括AGV小车21,AGV小车21的顶面固定安装有电动伸缩杆一22,电动伸缩杆一22的伸缩轴端朝上固定连接有搁置台23,搁置台23的顶面固定连接有固定块24,固定块24上对称滑动连接有两个侧滑板25,固定块24上固定连接有电动伸缩杆二26,电动伸缩杆二26的伸缩轴端对称固定连接有两个电动伸缩杆三27,电动伸缩杆三27的伸缩轴的运动方向与电动伸缩杆二26的伸缩轴的运动方向垂直,且与侧滑板25的运动方向平行,两个电动伸缩杆三27的伸缩轴端各固定连接有一个L形抵块28,两个L形抵块28上各滑动插设有一个抵杆29,两个抵杆29远离固定块24的一端各固定连接有一个抵块210,两个抵杆29靠近固定块24的一端穿过侧滑板25后固定连接有微型伺服电机211,两个抵杆29的两端各固定连接有一个连杆212,位于同一个抵杆29上的两个连杆212通过一个转轴共同转动连接有一个侧板213,两个侧板213相靠近的一侧各固定连接有一个侧抵块215。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人辽宁汉京半导体材料有限公司,其通讯地址为:110027 辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区昆明湖街20号(全部)一层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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