新毅东(北京)科技有限公司张琪获国家专利权
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龙图腾网获悉新毅东(北京)科技有限公司申请的专利光刻机干涉仪光束校准装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121025951B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511556144.X，技术领域涉及：G01B9/02055；该发明授权光刻机干涉仪光束校准装置及方法是由张琪;符友银;杨光华设计研发完成，并于2025-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机干涉仪光束校准装置及方法在说明书摘要公布了：本发明涉及光学测量领域，提供一种光刻机干涉仪光束校准装置及方法。光刻机干涉仪光束校准装置用于校准光刻机内的干涉测量系统的测量光束，包括基准光学元件，被配置为在校准环境中建立绝对角度基准；模拟靶标，具有至少一个反射面，被配置为在校准期间可拆卸地放置于测量光束的光路中；基准传递组件，被配置为将基准光学元件所定义的绝对角度基准传递至模拟靶标的反射面；诊断光学模块，被配置为可拆卸地安装在干涉测量系统的光束出口处，用以接收经模拟靶标的反射面反射后的测量光束；诊断光学模块将所接收到的测量光束与诊断光学模块的内部参考光束进行干涉，并以所形成的干涉条纹的形态作为判断测量光束准直状态的依据。
本发明授权光刻机干涉仪光束校准装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻机干涉仪光束校准装置，用于校准光刻机内的干涉测量系统的测量光束，其特征在于，包括： 基准光学元件100，被配置为在校准环境中建立绝对角度基准； 模拟靶标102，具有至少一个反射面，被配置为在校准期间可拆卸地放置于所述测量光束的光路中； 基准传递组件104，被配置为将所述基准光学元件100所定义的所述绝对角度基准传递至所述模拟靶标102的所述反射面； 诊断光学模块106，被配置为可拆卸地安装在所述干涉测量系统的光束出口处，用以接收经所述模拟靶标102的所述反射面反射后的所述测量光束； 其中，所述诊断光学模块106将所接收到的测量光束与所述诊断光学模块106的内部参考光束进行干涉，并以所形成的干涉条纹的形态作为判断所述测量光束准直状态的依据。
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