华海清科股份有限公司程子政获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种方形承载头和化学机械抛光系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121004541B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511524648.3，技术领域涉及：B24B37/30；该发明授权一种方形承载头和化学机械抛光系统是由程子政;孟松林;金军设计研发完成，并于2025-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种方形承载头和化学机械抛光系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种方形承载头和化学机械抛光系统，涉及半导体制造技术领域。所述方形承载头包括：联轴盘；方形基座，同心连接于联轴盘；装载组件，连接于方形基座下方，用于装载待抛光的基板；方形保持环，设置于方形基座下方并位于装载组件的外周侧；调节件，滑动连接于方形基座且竖向嵌入方形保持环的角部，所述调节件的上方配置有浮动组件，以推动所述调节件上下移动；所述调节件的底面抵接于基板四角的外侧区域而带动抛光垫变形，以改变基板角部的载荷而调节基板角部的材料去除速率。
本发明授权一种方形承载头和化学机械抛光系统在权利要求书中公布了：1.一种方形承载头，用于基板的化学机械抛光，其特征在于，包括： 联轴盘； 方形基座，同心连接于联轴盘； 装载组件，连接于方形基座下方，用于装载待抛光的基板； 方形保持环，设置于方形基座下方并位于装载组件的外周侧； 调节件，滑动连接于方形基座且竖向嵌入方形保持环的角部，调节件的上方配置有浮动组件，以推动调节件上下移动；调节件的底面抵接于基板四角的外侧区域而带动抛光垫变形，以改变基板角部的载荷而调节基板角部的材料去除速率； 所述调节件的数量为四个，其安装于固定环的下方；固定环通过导向销滑动连接于方形基座的上方，浮动组件驱动固定环及其上的调节件沿竖直方向移动； 所述浮动组件包括滚动膜，其连接于固定环的上方，加压的滚动膜驱动固定环沿竖向移动；滚动膜的内部设置有截面为U形的限位架，以限定滚动膜的伸缩变形幅度； 所述滚动膜包括滚动筋和上连接筋，一对滚动筋沿滚动膜纵切面的中心线对称设置，上连接筋设置于滚动筋的顶部；滚动筋之间设置有水平的下连接筋，其底部配置有凸起；固定环的顶面配置有安装槽，凸起卡接于安装槽中。
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