山东大学王立鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学申请的专利面向半导体应用的多尺寸晶圆声悬浮装置及姿态测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121004113B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511524574.3，技术领域涉及：B06B1/06；该发明授权面向半导体应用的多尺寸晶圆声悬浮装置及姿态测量系统是由王立鹏;李师如;吴疆;宋锐;荣学文;李贻斌设计研发完成，并于2025-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本面向半导体应用的多尺寸晶圆声悬浮装置及姿态测量系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种面向半导体应用的多尺寸晶圆声悬浮装置及姿态测量系统，属于半导体加工技术领域，包括底座和行星支架，行星支架与底座相连接，行星支架上安装有换能器，换能器与振动器相连接；振动器包括第一凸台和第二凸台，第一凸台和第二凸台同心设置，第二凸台具有渐变斜面，且其直径小于第一凸台的直径，其厚度大于第一凸台的厚度；换能器将振动传递至振动器，通过调整第一凸台和第二凸台的尺寸和厚度，激发振动器产生高阶弯曲，挤压周围空气形成规律性高压区与低压区分布，使放置于振动器上的多尺寸晶圆悬浮。本发明采用声悬浮实现多尺寸晶圆悬浮操控，避免晶圆与执行器划擦，设计了晶圆悬浮的测量系统，实现晶圆悬浮高度、位姿测量。
本发明授权面向半导体应用的多尺寸晶圆声悬浮装置及姿态测量系统在权利要求书中公布了：1.面向半导体应用的多尺寸晶圆声悬浮装置，其特征在于，包括底座和行星支架，所述行星支架通过支撑圆管与底座相连接，所述行星支架上安装有换能器，所述换能器的顶部与振动器相连接； 所述振动器包括第一凸台和第二凸台，所述第一凸台和第二凸台同心设置，所述第二凸台具有渐变斜面，且其直径小于第一凸台的直径，其厚度大于第一凸台的厚度； 换能器将振动传递至振动器，通过调整第一凸台和第二凸台的尺寸和厚度，激发振动器产生高阶弯曲，挤压周围空气形成规律性高压区与低压区分布，使放置于振动器上的多尺寸晶圆悬浮。
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