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龙图腾网获悉上海邦芯半导体科技有限公司申请的专利工艺配方调试方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120995112B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511524084.3，技术领域涉及：G06F18/214；该发明授权工艺配方调试方法、装置、设备及介质是由裴凯;王晓雯;王兆祥;梁洁;叶武锦;曾子菱;孟炜祁设计研发完成，并于2025-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本工艺配方调试方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种工艺配方调试方法、装置、设备及介质，该方法包括：获取样本数据集；获取机理关系；基于样本数据集和机理关系，训练得到目标预测模型；将目标产品对应的工艺前产品信息和目标工艺结果输入至目标预测模型，得到调试工艺配方；获取采用调试工艺配方试验加工目标产品时得到的试验工艺结果，并验证试验工艺结果与目标工艺结果是否匹配；若不匹配，向模型反馈试验工艺结果，以使模型根据试验工艺结果修正调试工艺配方，而后重新进行试验验证和修正，直至试验工艺结果与目标工艺结果匹配，将匹配时采用的调试工艺配方作为目标工艺配方。本发明能够避免依赖人工经验进行工艺配方调试而导致调试过程复杂且效率低下的问题。

本发明授权工艺配方调试方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种工艺配方调试方法，其特征在于，包括： 获取样本数据集，所述样本数据集包括若干历史样本产品对应的工艺前产品信息、实际应用的工艺配方以及达到的工艺结果，所述工艺配方包括执行目标工艺所需的工艺参数； 获取所述工艺参数与所述工艺结果之间的若干机理关系； 基于所述样本数据集和所述机理关系，按以下步骤训练得到目标预测模型：基于所述机理关系，对通用领域的初始大模型进行继续预训练，得到领域增强模型，基于所述样本数据集对所述领域增强模型进行训练，得到所述目标预测模型； 将目标产品对应的工艺前产品信息和目标工艺结果输入至所述目标预测模型，以预测得到所述目标产品对应的调试工艺配方； 获取采用所述调试工艺配方试验加工所述目标产品时得到的试验工艺结果，并验证所述试验工艺结果与所述目标工艺结果是否匹配； 当所述试验工艺结果与所述目标工艺结果不匹配时，向所述目标预测模型反馈所述试验工艺结果，以使所述目标预测模型根据所述试验工艺结果修正所述调试工艺配方，而后重新获取采用所述调试工艺配方加工所述目标产品时得到的试验工艺结果，直至所述试验工艺结果与所述目标工艺结果匹配，将匹配时采用的所述调试工艺配方作为目标工艺配方。

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