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龙图腾网获悉上海车仪田科技有限公司申请的专利自由基浓度的在线检测方法及检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120977893B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511500430.4，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权自由基浓度的在线检测方法及检测系统是由黄晓;甄静伟;侯晓轩;张黎明;孙光艳;张越;张永杰;李震超;王昆设计研发完成，并于2025-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本自由基浓度的在线检测方法及检测系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种自由基浓度的在线检测方法及检测系统，检测方法包括：控制模块执行第一检测模式，以获得本底基线信号；控制模块执行第二检测模式，以获得包括所述本底基线信号和自由基浓度信号的总信号；其中，第二检测模式为：开启等离子体源的电源和所述电离器，关闭气体分析单元的内置离子源，并激活引入器的离子捕获与脉冲引出功能，使电离器电离产生的自由基离子在引入器中捕获后被脉冲式地引入气体分析单元内进行检测；控制模块将所述总信号与所述本底基线信号相减，以得到所述自由基浓度信号。本发明提供的检测方法及检测系统，能够实时监测工艺过程中自由基浓度的动态变化，并提高了检测的准确性。

本发明授权自由基浓度的在线检测方法及检测系统在权利要求书中公布了：1.一种自由基浓度的在线检测方法，应用于半导体刻蚀和薄膜工艺，其特征在于，所述检测方法包括： 控制模块执行第一检测模式，以获得本底基线信号；其中，所述第一检测模式为：关闭电离器、开启气体分析单元的内置离子源，并关闭引入器的离子捕获与脉冲引出功能，使待测气体经所述引入器的限流小孔进入所述气体分析单元内进行电离和检测； 所述控制模块执行第二检测模式，以获得包括所述本底基线信号和自由基浓度信号的总信号；其中，所述第二检测模式为：在半导体设备的等离子体源电源开启时，同步开启所述电离器，关闭所述气体分析单元的内置离子源，并激活所述引入器的离子捕获与脉冲引出功能，使所述电离器电离产生的自由基离子在所述引入器中捕获后被脉冲式地引入所述气体分析单元内进行检测； 所述控制模块将所述总信号与所述本底基线信号相减，以得到所述自由基浓度信号； 所述并激活所述引入器的离子捕获与脉冲引出功能，包括： 启动所述引入器中的控温器对所述引入器中的电极层进行制冷； 向所述电极层施加射频电压和递减的直流电压，以形成捕获离子的势场，实现离子捕获； 当离子捕获阶段结束后，启动所述控温器对所述电极层进行加热，并向引出电极施加高压脉冲电压，以实现将捕获离子加速引出； 向所述电极层施加射频电压和递减的直流电压，以形成捕获离子的势场，包括： 对所述电极层施加50-300Vpp的射频电压，以及呈递减的0-200V的直流电压；其中，所述电极层最外层施加的直流电压为U1，最内层施加的直流电压为U2，且U1U2； 对所述引出电极施加第一直流偏压U3，且U3U2，以在所述电极层上形成捕获离子的势场。

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