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龙图腾网获悉磊菱半导体设备(江苏)有限公司申请的专利用于半导体零部件的释气率检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120971367B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511517531.2，技术领域涉及：G01N21/3504；该发明授权用于半导体零部件的释气率检测方法及系统是由叶胜;戴小练设计研发完成，并于2025-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于半导体零部件的释气率检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种用于半导体零部件的释气率检测方法及系统，涉及半导体零部件测试领域，方法包括：读取半导体零部件的应用装置，进行应用环境分析，获取历史环境参数分布；进行检测环境配置，生成检测环境配置方案；按照检测环境配置方案，利用傅里叶变换红外光谱法对半导体零部件进行释气率检测，并在释气率检测过程中，通过环境监测数据对红外光谱设备进行自适应校准，以及对检测结果进行误差补偿，输出释气率检测报告。旨在解决传统检测方法未能有效考虑环境因素的动态变化，以及环境因素导致的设备检测误差，造成释气率检测结果精准度和可靠性不足的技术问题，可以有效减少环境因素对检测结果的影响，实现高效、准确的释气率检测。

本发明授权用于半导体零部件的释气率检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.用于半导体零部件的释气率检测方法，其特征在于，方法包括： 读取半导体零部件的应用装置，根据所述应用装置进行应用环境分析，获取历史环境参数分布； 根据所述历史环境参数分布进行检测环境配置，生成检测环境配置方案； 按照所述检测环境配置方案，利用傅里叶变换红外光谱法对半导体零部件进行释气率检测，并在释气率检测过程中，通过环境监测数据对红外光谱设备进行自适应校准，以及对检测结果进行误差补偿，输出释气率检测报告； 所述根据所述应用装置进行应用环境分析，获取历史环境参数分布，包括： 以所述应用装置为约束，通过工业大数据进行应用范围检索，获取预设时间范围内的多个历史环境参数序列，其中，预设时间范围为1年，每个历史环境参数序列包括若干个时段内的历史环境参数均值，环境参数包括温度、湿度和气压； 按照预设步长划分确定多个环境参数区间； 根据所述多个环境参数区间，分别对所述多个历史环境参数序列中的多个历史环境参数进行归类，并统计每个环境参数区间的参数占比，获取多个参数比例； 映射组合所述多个环境参数区间和多个参数比例，构建历史环境参数分布； 所述根据所述历史环境参数分布进行检测环境配置，生成检测环境配置方案，包括： 获取所述历史环境参数分布中的多个参数比例，并以最小参数比例为基准，分别计算其他参数比例与最小参数比例的比值取整设为检测次数，得到多个检测次数，其中，最小参数比例的检测次数为1； 获取多个环境参数区间的多个参数中位值，结合所述多个检测次数映射构建初始检测环境配置方案； 按照参数波动性和气候变化特征对所述初始检测环境配置方案进行调整，得到所述检测环境配置方案； 所述按照参数波动性和气候变化特征对所述初始检测环境配置方案进行调整，包括： 随机选取第一环境参数区间，并计算第一环境参数区间的多个第一历史环境参数的均值，得到第一参数均值； 计算所述多个第一历史环境参数的标准差，得到第一参数标准差； 将所述第一参数标准差与第一参数均值的比值设为第一参数波动性，并依次分析得到多个环境参数区间的多个参数波动性； 按照参数波动性由大到小对所述初始检测环境配置方案进行排序，得到初始环境参数区间序列； 按照气候变化特征对所述初始环境参数区间序列进行调整，得到优化环境参数区间序列，作为检测环境配置方案； 所述按照所述检测环境配置方案，利用傅里叶变换红外光谱法对半导体零部件进行释气率检测，并在释气率检测过程中，通过环境监测数据对红外光谱设备进行自适应校准，包括： 按照所述检测环境配置方案，利用傅里叶变换红外光谱法对半导体零部件进行释气率检测，并在释气率检测过程中，通过传感器监测获取实时环境参数； 根据所述实时环境参数对红外光谱设备的设备参数进行迭代校准，直至完成检测流程，其中，通过设备参数校准器进行参数校准，设备参数校准器基于随机森林构建，设备参数包括光源功率、波长范围、探测器灵敏度和采样时间； 根据环境监测数据对检测结果进行误差补偿，输出释气率检测报告，包括： 根据预设历史时区的释气率检测记录，训练得到误差补偿插件，其中，所述误差补偿插件包括Q个误差补偿单元，Q为大于5的整数； 以标准环境参数为基准，对所述环境监测数据进行偏差分析，获取环境参数偏差； 采集K个连续环境监测数据进行参数波动性分析，获取实际参数波动性，K为大于5的整数； 根据所述环境参数偏差和实际参数波动性计算得到误差补偿复杂度，其中，误差补偿复杂度和环境参数偏差、实际参数波动性正相关； 计算所述误差补偿复杂度与历史误差补偿复杂度的比值，并乘以Q取整，得到补偿单元选取数量P； 在所述Q个误差补偿单元中随机选取P个误差补偿单元，根据所述环境监测数据和当前检测结果进行补偿分析，均值计算得到补偿检测结果，其中，检测结果包括气体浓度和释放速率； 依次分析获取多个补偿检测结果，结合所述检测环境配置方案生成释气率检测报告。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人磊菱半导体设备(江苏)有限公司，其通讯地址为：226000 江苏省南通市启东经济开发区凯旋路399号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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