安徽禾臣新材料有限公司李加海获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽禾臣新材料有限公司申请的专利一种表面厚度半连续制备的CMP抛光垫生产工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120962536B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511250491.X，技术领域涉及：B24B37/22；该发明授权一种表面厚度半连续制备的CMP抛光垫生产工艺是由李加海;杨惠明;孙传东设计研发完成，并于2025-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种表面厚度半连续制备的CMP抛光垫生产工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及抛光技术领域，且公开了一种表面厚度半连续制备的CMP抛光垫生产工艺，解决了现有技术存在表层和泡孔均匀性不足的问题。通过制备改性热塑性聚氨酯弹性体，其含聚醚型热塑性聚氨酯、乙烯‑醋酸乙烯共聚物、硅烷化纳米SiO22等，经原料预处理、硅烷化改性、预混造粒得颗粒；再经基材再生、功能层涂覆、分步发泡定型、激光微加工及分拣检测制得抛光垫，功能层采用半连续涂覆与分步发泡，结合改性弹性体的定型和成核作用，提升抛光垫表层厚度的稳定性与泡孔结构的均匀性，改善晶圆抛光时的压力分布与抛光液传输效率，减少局部过抛、欠抛及表面缺陷，同时增强材料耐磨性，延长使用寿命，尤其适用于先进制程的平坦化处理。
本发明授权一种表面厚度半连续制备的CMP抛光垫生产工艺在权利要求书中公布了：1.一种表面厚度半连续制备的CMP抛光垫，其特征在于，包括基材层和其上的功能层，所述功能层的制备材料按重量比包括65-75份改性热塑性聚氨酯弹性体、8-12份热膨胀微球、0.3-0.7份硅烷化纳米二氧化硅、0.8-1.2份硅烷偶联剂KH-550，所述改性热塑性聚氨酯弹性体的制备材料按重量比包括80-90份聚醚型热塑性聚氨酯、5-15份乙烯-醋酸乙烯共聚物与硅烷化纳米SiO2经熔融共混制成，通过调控热塑性聚氨酯与乙烯-醋酸乙烯共聚物的配比及纳米填料的分散性，结合功能层半连续涂覆与分步发泡工艺，实现表层厚度高精度控制及泡孔结构均匀分布，所述分步发泡工艺包括依次进行的超临界CO2渗透、N2封孔与低温急冷锁气、以及梯度升温发泡步骤。
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