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龙图腾网获悉信安真空科技(江苏)有限公司申请的专利超高真空排气装置的密封检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120947933B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511478251.5，技术领域涉及：G01M3/20；该发明授权超高真空排气装置的密封检测方法是由桂晓琳;郑承业设计研发完成，并于2025-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本超高真空排气装置的密封检测方法在说明书摘要公布了：本申请提供了超高真空排气装置的密封检测方法，涉及密封检测技术领域，该方法包括：对超高真空排气装置进行泄漏风险特征挖掘，构建检测点位分布；对超高真空排气装置进行抽真空平稳检测，并根据平稳检测结果生成密封检测启动信号；根据检测点位分布和氦质谱检漏仪对超高真空排气装置进行密封检测，获得装置密封检测第一结果；对装置密封检测第一结果进行检测背景干扰修正、喷氦交叉影响补偿和材料氦吸附校正，生成装置密封检测第四结果。通过本申请解决了由于存在多种干扰因素，容易出现误判、漏判，导致密封检测精度不足的技术问题，通过真空平稳后进行检测，并对检测结果进行修正，提升超高真空排气装置的密封检测效果。

本发明授权超高真空排气装置的密封检测方法在权利要求书中公布了：1.超高真空排气装置的密封检测方法，其特征在于，包括： 对超高真空排气装置进行泄漏风险特征挖掘，构建检测点位分布； 对所述超高真空排气装置进行抽真空平稳检测，并根据平稳检测结果生成密封检测启动信号； 基于所述密封检测启动信号，根据所述检测点位分布和氦质谱检漏仪对所述超高真空排气装置进行密封检测，获得装置密封检测第一结果； 对所述装置密封检测第一结果进行检测背景干扰修正，获得装置密封检测第二结果； 对所述装置密封检测第二结果进行喷氦交叉影响补偿，获得装置密封检测第三结果； 对所述装置密封检测第三结果进行材料氦吸附校正，生成装置密封检测第四结果； 对超高真空排气装置进行泄漏风险特征挖掘，构建检测点位分布，包括： 获得所述超高真空排气装置的装置结构特征数据集； 根据所述装置结构特征数据集对所述超高真空排气装置进行多点位泄漏风险预测，获得大于等于预定泄漏风险的第一特征点位分布； 根据所述超高真空排气装置进行泄漏频繁特征挖掘，生成第二特征点位分布； 求取所述第一特征点位分布与所述第二特征点位分布的并集，生成所述检测点位分布； 根据所述超高真空排气装置进行泄漏频繁特征挖掘，生成第二特征点位分布，包括： 根据所述超高真空排气装置进行泄漏事件全局检索，获得泄漏事件检索集； 根据所述泄漏事件检索集对所述超高真空排气装置的多个点位进行泄漏频繁度评价，获得各点位泄漏频繁系数； 基于所述各点位泄漏频繁系数，根据泄漏频繁阈值遴选所述多个点位，获得所述第二特征点位分布。

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