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龙图腾网获悉信安真空科技(江苏)有限公司申请的专利基于氦质谱的超高真空排气台氦泄漏自动检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120947932B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511478250.0，技术领域涉及：G01M3/20；该发明授权基于氦质谱的超高真空排气台氦泄漏自动检测方法是由郑承业;桂晓琳设计研发完成，并于2025-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于氦质谱的超高真空排气台氦泄漏自动检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供了基于氦质谱的超高真空排气台氦泄漏自动检测方法，涉及气体泄漏检测技术领域，包括：控制超高真空排气台开启抽真空系统，将被检腔体抽至预设真空范围；启动氦气充入装置向被检腔体的外表面区域注入氦气，记录氦气充入时序；由氦质谱检测单元获取第一组氦质谱响应信号和第二组氦质谱响应信号，第二组氦质谱响应信号为延迟采样响应信号；进行响应时间曲线比对，识别延迟响应特征；根据时间延迟分析模型分析延迟响应特征，根据显著性判断结果输出氦泄漏检测结果。本发明解决了现有技术通常假定氦泄漏是即时发生的，忽略了复杂结构泄漏路径中的滞后效应，导致漏检或误判，从而影响了氦泄漏检测的准确性的技术问题。

本发明授权基于氦质谱的超高真空排气台氦泄漏自动检测方法在权利要求书中公布了：1.基于氦质谱的超高真空排气台氦泄漏自动检测方法，其特征在于，所述方法包括： 控制超高真空排气台开启抽真空系统，将被检腔体抽至预设真空范围； 启动氦气充入装置向所述被检腔体的外表面区域注入氦气，记录氦气充入时序； 由氦质谱检测单元获取所述外表面区域的第一组氦质谱响应信号和第二组氦质谱响应信号，其中，所述第二组氦质谱响应信号为在所述第一组氦质谱响应信号采样位置下所述氦质谱检测单元的延迟采样响应信号； 根据所述氦气充入时序、所述第一组氦质谱响应信号和所述第二组氦质谱响应信号进行响应时间曲线比对，识别延迟响应特征； 根据时间延迟分析模型分析所述延迟响应特征，判断所述延迟响应特征是否具有显著性，根据显著性判断结果输出氦泄漏检测结果； 根据所述氦气充入时序、所述第一组氦质谱响应信号和所述第二组氦质谱响应信号进行响应时间曲线比对，识别延迟响应特征，方法包括： 其中，所述氦气充入时序包括氦气充入的开始时间和结束时间，所述第一组氦质谱响应信号为第一采样时间内氦浓度随时间变化的信号，所述第二组氦质谱响应信号为第二采样时间内氦浓度随时间变化的信号，所述第二采样时间为所述第一采样时间的延迟采样时间； 构建所述氦气充入时序、所述第一组氦质谱响应信号和所述第二组氦质谱响应信号的融合响应时间曲线，根据所述融合响应时间曲线识别延迟响应特征； 根据所述融合响应时间曲线识别延迟响应特征，方法包括： 提取所述融合响应时间曲线中的关键参数集合，所述关键参数集合包括响应起始时间、最大响应时间、滞后时间、上升斜率和响应持续时间； 根据所述关键参数集合计算延迟因子、延迟占比以及上升缓慢因子； 将所述延迟因子、延迟占比以及上升缓慢因子作为延迟响应特征输出。

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