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东海县奥博石英制品有限公司孔凡昌获国家专利权

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龙图腾网获悉东海县奥博石英制品有限公司申请的专利一种半导体制程用石英舟获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120565469B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510461327.7,技术领域涉及:H10P72/10;该发明授权一种半导体制程用石英舟是由孔凡昌设计研发完成,并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种半导体制程用石英舟在说明书摘要公布了:本发明涉及石英舟技术领域,公开了一种半导体制程用石英舟,包括背板、杆组、压杆、传动组件、顶升组件和解锁组件。本发明通过精妙的机械结构设计,实现解锁与顶升操作的高效协同,当需取出硅片时,通过传动组件带动转盘旋转,且缺口推动压杆沿滑槽移动,精准实现硅片解锁,该自动化解锁机制避免了人工直接接触硅片,降低了硅片损伤风险,显著提升产品良品率;与此同时,在解锁完成后,同步轴继续驱动顶升块旋转,螺旋面按特定顺序顶升硅片,操作人员可在任意时刻暂停设备,精准拿取指定硅片,大幅提升操作灵活性与便捷性。顶升结束后,倾斜面使硅片呈阶梯状分布,不仅方便操作人员区分和拿取硅片,提高拿取效率,降低误操作概率。

本发明授权一种半导体制程用石英舟在权利要求书中公布了:1.一种半导体制程用石英舟,包括一对背板1以及安装在其内部的杆组,其特征在于: 一对所述背板1上安装有压杆13,所述压杆13滑动在背板1侧壁开设的滑槽133中,且滑槽133处于倾斜状态; 所述背板1内部安装有包含同步轴2的传动组件; 所述同步轴2上安装有若干对顶升组件,每个所述顶升组件包括顶升块3,所述顶升块3侧壁搭接设置有硅片5,且顶升块3的侧壁设置有螺旋面31,当同步轴带动顶升块3旋转时,其螺旋面31依次顶升不同位置的硅片5向上移动,且顶升块3外侧壁设置有倾斜面32,所述倾斜面32用于使顶升后的硅片5呈阶梯分布; 所述同步轴2上还安装有解锁组件,所述解锁组件包括与同步轴2同步连接的转盘4,且转盘4上开设有与顶升块3对应的缺口41,当同步轴带动转盘4旋转后,其缺口41顶升压杆13沿着滑槽133滑动,解锁硅片5; 所述背板1上安装有定位座421,所述定位座421侧壁安装有定位套42,所述定位套42内部活动贯穿安装有定位杆422,所述定位杆422的滑动轨迹为竖直状态,所述定位杆422底部安装有卡套423,所述卡套423内部内嵌设置有滚珠424,所述滚珠424底部贴合在转盘4表面;所述定位套42内部滑动设置有挡板426,所述挡板426底部与定位杆422相互连接; 所述挡板426顶部安装有同步杆431,所述同步杆431活动贯穿定位套42,位于定位套42内部的同步杆431侧壁套接设置有压缩弹簧425,所述压缩弹簧425一端卡接在挡板426上,所述压缩弹簧425另一端卡接在定位套42内侧壁上;所述同步杆431顶部安装有同步架43,所述同步架43竖直滑动设置在背板1侧壁,且同步架43两端安装有顶杆432,所述顶杆432上活动贯穿安装有限位座433,所述限位座433焊接设置在背板1上;所述顶杆432顶部安装有连接板44,所述连接板44内部开设有条形槽441,所述条形槽441呈水平状态,所述条形槽441与压杆13的旋转中心滑动连接; 所述压杆13旋转中心安装有滑块443,所述滑块443滑动设置在条形槽441中,且条形槽441的宽度和滑块443宽度适配,所述滑块443内部活动贯穿设置有限位杆442,所述限位杆442两端安装在条形槽441侧壁上。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人东海县奥博石英制品有限公司,其通讯地址为:222300 江苏省连云港市东海县经济开发区黄河路9号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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