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江西汉可泛半导体技术有限公司黄海宾获国家专利权

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龙图腾网获悉江西汉可泛半导体技术有限公司申请的专利一种载板及其应用、载板组件和镀膜设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120555999B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510714239.3,技术领域涉及:C23C16/458;该发明授权一种载板及其应用、载板组件和镀膜设备是由黄海宾;刘翠翠设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

一种载板及其应用、载板组件和镀膜设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种载板,该载板包含以下组分:Al:0.66‑60.74重量份、Si:5.60‑73.44重量份、O:31.66‑80.74重量份、Mg:0.35‑30.74重量份、Zn:0.22‑47.74重量份,余量为不可避免的杂质。另外,本发明还涉及一种上述载板在镀膜中的应用。此外,本发明还涉及一种包含上述载板的载板组件以及包含上述载板组件的镀膜设备。本发明对载板材质进行了替换,降低了载板的热膨胀系数和平面度上的变形量,从而降低了碎片率,提高了产线良率,并降低了产品成本。

本发明授权一种载板及其应用、载板组件和镀膜设备在权利要求书中公布了:1.一种载板,其特征在于,所述载板包含以下组分:Al:0.66-60.74重量份、Si:5.60-73.44重量份、O:31.66-80.74重量份、Mg:0.35-30.74重量份、Zn:0.22-47.74重量份,余量为不可避免的杂质。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江西汉可泛半导体技术有限公司,其通讯地址为:332020 江西省九江市共青城市高新区火炬五路以北, 科技二大道以东(汉可泛半导体智能装备制造产业园一期)厂房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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