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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种三维光波导制造装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120405844B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510640904.9，技术领域涉及：G02B6/13；该发明授权一种三维光波导制造装置是由郑煜;刘树;曾可;李雪凝;杨明啸设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种三维光波导制造装置在说明书摘要公布了：本发明属于光波导制造的技术领域，具体涉及一种三维光波导制造装置，该装置包括：炉体、石英支架、保温筒及晶圆夹具。石英支架横跨炉体的开口，晶圆夹具通过石英支架悬挂于炉体内的保温筒内。晶圆夹具又包括可拆卸拼接的主夹具体和副夹具体，副夹具体与主夹具体的密封板粘接密封，主夹具体和副夹具体的内壁设置有矩阵正电极、晶圆及铜制负电极，铜制负电极与主夹具体及副夹具体的第二端面之间形成供熔融盐进入主夹具体及副夹具体内部的缝隙。该装置可实现掩埋制造光波导的三维结构，装配简单方便且不容易损坏晶圆，适合稳定批量制造三维光波导，不容易发生电路短路情况，并能够保证熔融盐的温度均匀及降温平缓。

本发明授权一种三维光波导制造装置在权利要求书中公布了：1.一种三维光波导制造装置，其特征在于，包括： 顶部开口的炉体1，其顶部的开口处设置有炉盖11，所述炉盖11上设置有第一线束过孔111； 石英支架2，连接在所述炉体1的内壁，并横跨所述炉体1的开口； 保温筒3，设置在所述炉体1的内部，并位于所述石英支架2的下方，用于盛放熔融盐； 晶圆夹具4，悬挂于所述石英支架2上，并位于所述保温筒3的内部；所述晶圆夹具4又包括可拆卸拼接的主夹具体41和副夹具体42，所述主夹具体41的第一端面设置有密封板413，所述主夹具体41的第一端面与所述副夹具体42的第一端面通过所述密封板413密封连接，且所述密封板413设置有第二线束过孔414；所述主夹具体41和所述副夹具体42从第一端面至第二端面的内壁均依次设置有用于固定矩阵正电极5的第一电极槽、用于固定晶圆6的晶圆槽及用于固定铜制负电极7的第二电极槽，所述矩阵正电极5的电连接线依次穿过所述第二线束过孔414及第一线束过孔111而与外部的电源连接，所述铜制负电极7的电连接线直接穿过所述第一线束过孔111而与外部的电源连接，所述矩阵正电极5的电连接线和所述铜制负电极7的电连接线均为云母带绝缘电缆线；所述主夹具体41和所述副夹具体42的第二端面均设置有凸起部43，所述第二电极槽设置在所述凸起部43的内壁，所述铜制负电极7与所述主夹具体41及所述副夹具体42的第二端面之间形成供所述熔融盐进入所述主夹具体41及所述副夹具体42内部的缝隙44。

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