武汉大学佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉大学申请的专利一种高致密度LiNbO3靶材、制备方法、压电涂层及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120398537B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510508155.4,技术领域涉及:C04B35/495;该发明授权一种高致密度LiNbO3靶材、制备方法、压电涂层及其应用是由佩列诺维奇·瓦西里·奥列戈维奇;曾晓梅;于洋洋;杨兵;拉希姆伯根·拉希莫夫;沙夫卡特·尤尔达舍夫;亚历山大·波格雷布尼亚克设计研发完成,并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高致密度LiNbO3靶材、制备方法、压电涂层及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种高致密度LiNbO33靶材、制备方法、压电涂层及其应用,所述LiNbO33靶材的制备方法包括,将Li22CO33、Nb22O55与Li22O混合后压制成型,得到坯体;将坯体热处理得到LiNbO33靶材。本发明使用Li22CO33和Nb22O55,并通过引入烧结助剂Li22O压制得到坯体后热处理得到高致密度的LiNbO33靶材,密度高达4.62‑4.64gcm33,此LiNbO33靶材通过溅射法下能够制备单相LiNbO33压电涂层,同时LiNbO33压电涂层具有较高的压电常数。
本发明授权一种高致密度LiNbO3靶材、制备方法、压电涂层及其应用在权利要求书中公布了:1.一种高致密度LiNbO3靶材的制备方法,其特征在于,包括, 将Li2CO3、Nb2O5与Li2O混合后压制成型,得到坯体; 将坯体热处理得到高致密度LiNbO3靶材; 其中,所述Li2CO3、Nb2O5按Li和Nb摩尔比1:1配比,Nb2O5与Li2O的摩尔比为8-10:0.5-1.5; 所述压制成型通过等静压方式压制多个2mm预坯体,并将多个预坯体合并压制成坯体,所述压制在压力200-500MPa持续5-10h; 所述热处理分多段进行,具体在1000-1300℃、600-800℃和300-500℃分别保温1-2、2-4和10-14h。
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