天府兴隆湖实验室罗先刚获国家专利权
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龙图腾网获悉天府兴隆湖实验室申请的专利波导外腔激光器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120357269B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510857311.8,技术领域涉及:H01S5/14;该发明授权波导外腔激光器是由罗先刚;段飞;邹放;马雪婷;郭迎辉设计研发完成,并于2025-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本波导外腔激光器在说明书摘要公布了:本申请提供一种波导外腔激光器,包括:增益芯片,用于产生光源;无源外腔芯片,用于提供窄带反馈,包括模斑转换器、光栅和波导,所述增益芯片经由所述模斑转换器与所述光栅耦合;所述波导用于传输光信号;所述光栅位于所述波导的侧面,包括周期性排列的刻蚀结构,所述波导两侧的光栅错位设置。相比现有技术,本方案提出集成非对称侧向耦合光栅外腔窄线宽半导体激光器,可在不加电调谐的情况下输出指定波长的光,其调谐仅需一个控制回路,且满足千赫兹级线宽的应用需求。此外在满足高边模抑制比和窄线宽激光输出要求的同时,本方案所加工结构的尺寸相对较大,可以使用低制程的工艺完成加工,因而工艺制作成本更低。
本发明授权波导外腔激光器在权利要求书中公布了:1.一种波导外腔激光器,其特征在于,包括:增益芯片,用于产生光源;无源外腔芯片,包括模斑转换器、光栅和波导,所述增益芯片经由所述模斑转换器与所述光栅耦合;所述波导用于传输光信号;所述光栅位于所述波导的侧面,包括周期性排列的刻蚀结构,所述波导两侧的光栅错位设置,形成非对称的侧向耦合光栅; 非对称侧向耦合光栅的耦合系数为: ; 其中k为耦合系数; k 0为普通布拉格光栅耦合系数; m为光栅阶数; dL为错位量; Λ为光栅周期; 所述非对称侧向耦合光栅的光栅阶数选为5、7、9、11或更大的奇数; 所述光栅包括设置在所述波导的第一侧面的第一光栅和设置在所述波导的第二侧面的第二光栅,所述第一光栅和所述第二光栅包括锯齿错位的高阶布拉格波导光栅; 或者,所述光栅包括位于所述波导的第一侧面的第三光栅和位于所述波导的第二侧面的第四光栅,所述光栅与波导之间具有第一间隔区域,所述第一间隔区域的材料包括低折射率材料;所述第三光栅和所述第四光栅错位设置; 或者,所述光栅包括位于所述波导的第一侧面的第五光栅,所述第五光栅与波导之间具有第二间隔区域,所述第二间隔区域的材料包括低折射率材料;所述第五光栅包括朝向所述波导的凸起。
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