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龙图腾网获悉睿励科学仪器(上海)有限公司申请的专利照明装置、暗场检测系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119804484B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411914383.3，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权照明装置、暗场检测系统及方法是由李政红;包建设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本照明装置、暗场检测系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种照明装置、暗场检测系统及方法，包括：基于宽视场的成像装置对待测晶圆表面的亮缺陷和暗缺陷分布位置进行预检测，得到待测晶圆的缺陷分布图谱；对缺陷分布图谱中各缺陷的亮暗程度进行分类，并得到待测晶圆各位置对应的光源亮暗等级分布；在暗场检测装置中，基于线照明光为待测晶圆的待测区域提供光源，扫描待测晶圆上的各待测区域，并根据与对应的光源亮暗等级调控探测光信号的强弱，采集调整后的探测光信号，以实现暗场检测。本发明在暗场检测时不同像素位置检测灵敏度一致性好、光源强度利用率高、图像采集动态范围大。

本发明授权照明装置、暗场检测系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种暗场检测系统，其特征在于，所述暗场检测系统至少包括： 上位机、运动平台、物镜、光学元件模组、DMD数字微反射镜、线扫相机及N个照明装置，N为大于等于1的自然数； 所述上位机建立待测晶圆表面的亮缺陷和暗缺陷分布位置与晶圆运动扫描路径、成像像素位置之间的映射关系，基于所述待测晶圆的缺陷分布图谱得到所述待测晶圆各位置对应的光源亮暗等级分布，进而控制所述运动平台、所述DMD数字微反射镜及所述线扫相机； 所述运动平台用于承载待测晶圆，并带动所述待测晶圆移动； 各照明装置设置于所述运动平台的侧上方，用于为所述待测晶圆上的待测区域提供大角度的能量分布均匀的线照明光；当N大于等于2时，各照明装置以所述待测区域为中心环形分布；所述照明装置包括：初步匀化光路及线平顶光斑整形光路；所述初步匀化光路提供入射光，并对所述入射光进行初步匀化，以降低所述入射光的相干性；所述线平顶光斑整形光路设置于所述初步匀化光路的输出端，将所述初步匀化光路输出的平行光束转换为平顶的线照明光； 所述物镜设置于所述待测区域的正上方，用于放大所述待测区域的散射光信号； 所述光学元件模组将所述物镜输出的探测光信号汇聚到所述DMD数字微反射镜中，还将所述DMD数字微反射镜反射的光信号汇聚到所述线扫相机中； 所述DMD数字微反射镜基于与所述待测区域的位置对应的所述光源亮暗等级调控所述探测光信号的强弱。

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