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宁波江丰电子材料股份有限公司边逸军获国家专利权

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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种具有溅射面斜面的合金靶材的磨削方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119772667B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510226593.1,技术领域涉及:B24B1/00;该发明授权一种具有溅射面斜面的合金靶材的磨削方法是由边逸军;姚力军;袁锦泽;龚祖光;张余设计研发完成,并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种具有溅射面斜面的合金靶材的磨削方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种具有溅射面斜面的合金靶材的磨削方法;所述磨削方法包括如下步骤:对合金靶材毛坯依次进行外圆磨削和斜面磨削;所述斜面磨削包括对所述外圆磨削后的合金靶材的边缘依次进行粗磨处理、半精磨处理和精磨处理以去除待磨削去除区域得到溅射面斜面;所述半精磨处理之前先调整溅射面斜面角度;得到具有溅射面斜面的合金靶材成品;保证了合金靶材成品的较低平面度,同时使得合金靶材成品的溅射面平面的直径偏差较低,低至0.5mm以下,并避免了崩角、开裂和掉渣等情况的发生,提高了合金靶材成品的质量及其稳定性。

本发明授权一种具有溅射面斜面的合金靶材的磨削方法在权利要求书中公布了:1.一种具有溅射面斜面的合金靶材的磨削方法,其特征在于,所述磨削方法包括如下步骤: 对合金靶材毛坯依次进行外圆磨削和斜面磨削;所述斜面磨削包括对所述外圆磨削后的合金靶材的边缘依次进行粗磨处理、半精磨处理和精磨处理以去除待磨削去除区域得到溅射面斜面;所述半精磨处理之前先调整溅射面斜面角度;得到具有溅射面斜面的合金靶材成品; 所述待磨削去除区域包括第一待磨削去除区域和第二待磨削去除区域;所述待磨削去除区域的最外侧边缘的总厚度与所述合金靶材毛坯中合金靶坯厚度的之比为0.5~0.8:1; 所述外圆磨削的对刀位置为所述合金靶材毛坯的溅射面平面的最大外圆位置; 所述斜面磨削之前先对所述外圆磨削后的合金靶材的溅射面平面度进行第一测量以确定所述溅射面斜面角度;所述第一测量的第一测量区域为所述外圆磨削后的合金靶材的溅射面最大外圆位置至预得溅射面尖角靠近溅射面平面中心直线距离0~20mm的圆环区域; 所述粗磨处理包括磨削去除所述第一待磨削去除区域;所述第一待磨削去除区域的最外侧边缘的厚度与所述待磨削去除区域的最外侧边缘的总厚度之比为0.35~0.75:1;所述粗磨处理的进给量为0.05~0.11mm;所述粗磨处理后得到的溅射面斜面的第一加工余量为0.5~1.0mm; 所述半精磨处理包括磨削去除所述第二待磨削去除区域;若所述粗磨处理后的合金靶材的溅射面平面的测量直径大于所述合金靶材成品的溅射面平面的理论直径,则减小所述溅射面斜面角度;若粗磨处理后的合金靶材的溅射面平面的测量直径小于所述合金靶材成品的溅射面平面的理论直径,则增大所述溅射面斜面角度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人宁波江丰电子材料股份有限公司,其通讯地址为:315400 浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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