中芯集成电路(宁波)有限公司尹振忠获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯集成电路(宁波)有限公司申请的专利声表面波谐振器的制造方法和声表面波谐振器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119727642B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411805061.5，技术领域涉及：H03H3/08；该发明授权声表面波谐振器的制造方法和声表面波谐振器是由尹振忠;齐飞;刘东庆;刘鹏设计研发完成，并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本声表面波谐振器的制造方法和声表面波谐振器在说明书摘要公布了：本申请提供了一种声表面波谐振器的制造方法和声表面波谐振器，其中，制造方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成多个叉指电极槽和质量块槽，每个所述叉指电极槽上设置有至少一个与所述叉指电极槽连通的所述质量块槽；在所述叉指电极槽和所述质量块槽中设置金属材料一体化形成叉指电极和质量块。通过先在衬底上形成多个叉指电极槽和质量块槽，然后在叉指电极槽和质量块槽中设置金属材料一体化形成叉指电极和质量块，通过一个步骤同时形成叉指电极和质量块，减少了加工工艺步骤，提升了生产效率，且一体化形成的叉指电极与质量块之间没有分离的界面，能保证质量块对二次谐波的抑制效果，提升了声表面波谐振器的稳定性，保证了产品良率。
本发明授权声表面波谐振器的制造方法和声表面波谐振器在权利要求书中公布了：1.一种声表面波谐振器的制造方法，其特征在于，所述制造方法包括： 提供衬底； 在所述衬底上形成多个叉指电极槽和质量块槽，每个所述叉指电极槽上设置有至少一个与所述叉指电极槽连通的所述质量块槽，每个所述叉指电极槽包括换能区域和衰减区域，所述换能区域为多个所述叉指电极槽相互交替的区域，所述换能区域包括中间区域和设置在所述中间区域两端的边缘区域，所述质量块槽位于所述边缘区域； 在所述叉指电极槽和所述质量块槽中设置金属材料一体化形成叉指电极和质量块。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中芯集成电路(宁波)有限公司，其通讯地址为：315000 浙江省宁波市小港街道安居路335号3幢、4幢、5幢；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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