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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119549476B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411669186.X，技术领域涉及：B08B7/00；该发明授权一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法是由张甲;李松霖;梁帅设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法，本发明是要解决在转移敏感材料及电极材料，制造传感器的过程中，有机聚合物残余引起的敏感材料与电极接触电阻过大的技术问题。本发明以AFM热探针扫描技术为基础，根据AFM热探针释放瞬时热量可以去除聚合物的基本原理，提出了使用热探针扫描技术去除敏感材料表面有机聚合物残余，提高敏感材料与电极材料接触微区界面纯净化方法，实现了敏感材料转移过程中有机聚合物残余的精确去除，达到了微区界面纯净化的目的，进而提高传感器性能。

本发明授权一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法在权利要求书中公布了：1.一种基于AFM热探针扫描技术的非热敏材料微区界面纯净化方法，其特征在于，包括以下步骤： 将敏感材料转移并固定于传感器衬底，对敏感材料进行预处理，将含有预处理后的敏感材料的传感器衬底放置到AFM设备的载物台上，调整AFM设备的激光器光源并进行对焦，在AFM设备上装载热探针扫描控制模块，更换AFM设备夹具上的探针为热探针，设定AFM设备的工作模式为接触模式，通过实验确定有机聚合物的热分解点和实际有机聚合物的去除效果参数，确定探针参数； 所述确定探针参数的方法包括： 基于有机聚合物的热分解点和实际有机聚合物的去除效果数据，获取热探针的尖端温度、划刻速度和垂直压力数据； 通过热探针扫描控制模块控制AFM设备对敏感材料表面进行非接触式扫描，获得有机聚合物的残余分布位置及各位置的残余量信息；基于所述探针参数和有机聚合物的残余分布信息，对敏感材料表面进行热探针扫描，去除有机聚合物的残余，获得表面洁净敏感材料，对所述洁净敏感材料的表面进行AFM扫描，记录表面形貌，获得有机聚合物去除结果，根据所述有机聚合物去除结果对AFM探针参数进行反馈调整，直至将有机聚合物清除干净； 使用硬质掩膜图案化辅助的蒸镀方法分别在经过和没经过AFM热探针扫描微区界面纯净化的敏感材料上制造电极，使用探针台和精密电流电压测量装置在预确定位置获取电流电压信息，对比所述电流电压信息，获得纯净化区域与未经过纯净化区域的电流密度大小对比，基于电流密度大小对比评价AFM热探针扫描对敏感材料的表面的纯净化效果。

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