南京信息工程大学赵见国获国家专利权
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龙图腾网获悉南京信息工程大学申请的专利一种GaN基微型LED显示单元及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119451331B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411429129.4,技术领域涉及:H10H20/821;该发明授权一种GaN基微型LED显示单元及其制备方法是由赵见国;张玉尧;武志勇;徐儒;常建华设计研发完成,并于2024-10-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种GaN基微型LED显示单元及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种GaN基微型LED显示单元及其制备方法,其结构包括自下而上依次设置的衬底、GaN基复合缓冲层、N型GaN层、含有微孔阵列的掩膜层、六方密堆积的N型GaN六角岛结构、在N型GaN六角岛上制备的量子阱、载流子调控层和P型InxxGa1‑x1‑xN层等。其中六方密堆积的N型GaN六角岛与量子阱构成了微型LED显示单元的发光结构,以独立台面结构为单元可以避免刻蚀损伤带来的不利影响,有效抑制每个发光单元的边缘效应,提高亮度;以六方密堆积为基础排列发光单元,可以最大程度上的有效利用外延片的面积,将经济效益最大化。该结构有效抑制了传统GaN基微型LED制备工艺对光效的负面影响,对GaN基微型LED显示器的发展具有重要意义。
本发明授权一种GaN基微型LED显示单元及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种GaN基微型LED显示单元,其特征在于:包括自下而上依次设置的衬底101、GaN基复合缓冲层102、N型GaN层103、含有微孔阵列的掩膜层104、六方密堆积的N型GaN六角岛阵列105、在N型GaN六角岛上的量子阱阵列106、载流子调控层107和P型InxGa1-xN层108;其中,衬底101是111面Si衬底或002蓝宝石衬底中的一种;当衬底101是111面Si衬底时,GaN基复合缓冲层102自下而上依次包括10~50nm厚的AlN薄膜、5~30周期的单个周期厚度为5~15nm厚的Aly1Ga1-y1NGaN超晶格、10~20周期的单个周期厚度为5~10nm厚的Iny2Ga1-y2NGaN超晶格和1~3μm厚的GaN薄膜;当衬底101是002蓝宝石衬底时,GaN基复合缓冲层102自下而上依次包括3~10nm厚的AlN薄膜、10~30周期的单个周期厚度为5~10nm厚的Iny3Ga1-y3NGaN超晶格和1~3μm厚的GaN薄膜; 其中,0.05y10.2,0.05y20.15,0.03y30.10;六方密堆积的N型GaN六角岛阵列105是在含有微孔阵列的掩膜层104上选区外延生长的、由彼此独立的N型GaN六角岛状结构构成,此结构顶部以台面结尾时为N型GaN六棱台,顶部以棱锥结构结尾时为N型GaN六棱锥;N型GaN六角岛阵列105为N型GaN六棱台结构时,量子阱阵列106、载流子调控层107和P型InxGa1-xN层108是在N型GaN六棱台的台面顶部生长的外延结构;N型GaN六角岛阵列105为N型GaN六棱锥结构时,量子阱阵列106、载流子调控层107和P型InxGa1-xN层108是在N型GaN六棱锥的六个侧面生长的外延结构;P型InxGa1-xN层108的厚度在50~200nm之间,摩尔组分x为0~0.15,当x=0时即为GaN;Mg元素掺杂浓度为2×1019cm-3~5×1019cm-3之间,其空穴浓度不低于1×1018cm-3;其中P型InxGa1-xN层108上表面的5~30nm厚度区域内,Mg元素的掺杂浓度不小于1×1020cm-3,其空穴浓度不低于5×1018cm-3。
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