广东工业大学刘远获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种基于低频噪声的柔性薄膜晶体管机械疲劳寿命预测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119438839B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411308966.1，技术领域涉及：G01R31/26；该发明授权一种基于低频噪声的柔性薄膜晶体管机械疲劳寿命预测方法是由刘远;陈雅怡;钟伟;雷登云;张建峰;倪尧设计研发完成，并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于低频噪声的柔性薄膜晶体管机械疲劳寿命预测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，公开了一种基于低频噪声的柔性薄膜晶体管机械疲劳寿命预测方法，包括：获取待预测柔性薄膜晶体管；计算待预测柔性薄膜晶体管的转移特性曲线和低频噪声功率谱；基于转移特性曲线获取待预测柔性薄膜晶体管的第一数据，基于第一数据和所述低频噪声功率谱计算待预测柔性薄膜晶体管的第二数据，将机械应力强度、循环周次和所述第二数据输入训练好的寿命预测模型，输出平带电压功率谱密度退化量和接触噪声功率谱密度退化量随循环周次变化的曲线图；根据曲线图获取待预测柔性薄膜晶体管在特定的机械应力强度条件下的疲劳寿命。本发明能够提高预测的准确度与可信度、降低对器件进行完整疲劳寿命试验所需要的时间及成本。
本发明授权一种基于低频噪声的柔性薄膜晶体管机械疲劳寿命预测方法在权利要求书中公布了：1.一种基于低频噪声的柔性薄膜晶体管机械疲劳寿命预测方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤： 获取待预测柔性薄膜晶体管； 计算所述待预测柔性薄膜晶体管的转移特性曲线和低频噪声功率谱； 基于所述转移特性曲线获取所述待预测柔性薄膜晶体管的第一数据，所述第一数据至少包括阈值电压、跨导和场效应迁移率中的一种； 基于所述第一数据和所述低频噪声功率谱计算所述待预测柔性薄膜晶体管的第二数据，所述第二数据至少包括平带电压功率谱密度初始值和接触噪声功率谱密度初始值中的一种； 将机械应力强度、循环周次和所述第二数据输入训练好的寿命预测模型，输出平带电压功率谱密度退化量或接触噪声功率谱密度退化量随循环周次变化的曲线图； 记录所述平带电压功率谱密度退化量或所述接触噪声功率谱密度退化量超过退化量阈值的循环周数，将所述循环周数作为所述待预测柔性薄膜晶体管在所述机械应力强度条件下的疲劳寿命。
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