宁波江丰电子材料股份有限公司姚力军获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波江丰电子材料股份有限公司申请的专利一种氟化锂陶瓷靶材及其制备方法和用途获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119430944B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411742309.8，技术领域涉及：C04B35/553；该发明授权一种氟化锂陶瓷靶材及其制备方法和用途是由姚力军;张雪;廖培君;黄洁文设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种氟化锂陶瓷靶材及其制备方法和用途在说明书摘要公布了：本发明涉及一种氟化锂陶瓷靶材及其制备方法和用途，所述制备方法包括以下步骤：均匀混合氟化锂与粘结剂溶液得到前驱体，将前驱体进行模压或干压成型，再进行冷等静压成型得到素坯；将素坯进行无压烧结得到烧结体，将烧结体进行HIP后处理得到氟化锂陶瓷靶材；本发明在不引入任何烧结助剂的情况下，通过增加HIP后处理工艺以去除烧结体晶界区域显气孔等缺陷，获得致密度较高的氟化锂陶瓷靶材。本发明采用无压烧结与HIP后处理相结合的方式，即可获得高致密度的氟化锂陶瓷靶材，本发明制备得到的氟化锂陶瓷靶材的致密度在97％‑99％。
本发明授权一种氟化锂陶瓷靶材及其制备方法和用途在权利要求书中公布了：1.一种氟化锂陶瓷靶材的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤： 均匀平均粒径为50nm-100nm的混合氟化锂与粘结剂溶液得到前驱体，将前驱体进行模压或干压成型，再进行冷等静压成型得到素坯；将素坯在500℃-700℃条件下进行无压烧结得到烧结体，将烧结体在600℃-750℃条件下进行HIP后处理得到氟化锂陶瓷靶材；所述HIP后处理为无包套的热等静压烧结； 所述HIP后处理的压力为70MPa-100MPa；所述HIP后处理的时间为1h-5h； 所述粘结剂溶液的浓度为1wt%-5wt%；所述粘结剂溶液包括PVA溶液或乙醇；所述粘结剂溶液占前驱体的质量分数为0.5wt%-5wt%； 所述冷等静压的压力为50MPa-250MPa；所述冷等静压的时间为30min-60min； 所述无压烧结的升温速率为1℃min-10℃min；所述无压烧结的时间为1h-5h。
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