杭州士兰微电子股份有限公司薛胜方获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州士兰微电子股份有限公司申请的专利一种MEMS角速度传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119197487B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411663961.0，技术领域涉及：G01C19/00；该发明授权一种MEMS角速度传感器是由薛胜方;王广猛;王敏昌;汪建平;胡铁刚设计研发完成，并于2024-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS角速度传感器在说明书摘要公布了：本申请公开了一种MEMS角速度传感器，包括结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块；结构相同的第一检测质量块、第二检测质量块，第一检测质量块位于第一驱动质量块内并与之耦接，第二检测质量块位于第二驱动质量块内并与之耦接；扭摆质量块，与第一检测质量块和第二检测质量块耦接；第一检测质量块、第二检测质量块及扭摆质量块组成检测结构，用于检测第一轴线方向的角速度，第一轴线与第一检测质量块、第二检测质量块所在的平面垂直。本申请提出的MEMS角速度传感器的结构，可以有效提升MEMS角速度传感器的稳定性。
本发明授权一种MEMS角速度传感器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS角速度传感器，其中，包括： 结构相同的第一驱动质量块、第二驱动质量块； 结构相同的第一检测质量块、第二检测质量块，所述第一检测质量块位于所述第一驱动质量块内并与之耦接，所述第二检测质量块位于所述第二驱动质量块内并与之耦接； 扭摆质量块，与所述第一检测质量块和所述第二检测质量块耦接，所述扭摆质量块包括第一空腔、第二空腔，所述第一空腔和所述第二空腔内均设有阻尼梳齿； 所述第一检测质量块、所述第二检测质量块以及所述扭摆质量块组成检测结构，用于检测第一轴线方向的角速度，所述第一轴线与所述第一检测质量块、所述第二检测质量块所在的平面垂直， 所述检测结构还包括： 第一锚点，关于所述扭摆质量块的对称中心线对称；以及 扭摆梁，将所述扭摆质量块与所述第一锚点耦接。
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