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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119077606B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411348831.8，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备是由孟松林;路新春;程子政;张洪蛟;王科设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备，承载头包括：承载头主体；保持环，保持环设置至承载头主体朝向晶圆的一侧，并能够将晶圆限位在其中部位置，保持环开设有沿着其轴向贯通的安装孔；防滑片机构，防滑片机构至少部分位于安装孔内，防滑片机构的防滑片主体包括轴向延伸的杆件和设置在杆件的朝向抛光单元的一端的防滑组件，杆件位于安装孔内，并能够在第一位置和第二位置之间往复运动，防滑组件阻挡晶圆。本申请实施例提供一种用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备，能够避免晶圆由承载头和抛光单元之间滑出。

本发明授权用于晶圆加工的承载头及化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种用于晶圆加工的承载头，其特征在于，包括： 承载头主体； 保持环，其设置至承载头主体朝向晶圆的一侧，并能够将晶圆限位在其中部位置，保持环开设有沿其轴向贯通的安装孔； 防滑片机构，其至少部分位于安装孔内，包括防滑片座、防滑片主体和弹性件；防滑片主体包括轴向延伸的杆件和设于杆件的朝向抛光单元的一端的防滑组件，杆件位于安装孔内并能够在第一位置和第二位置之间往复运动，防滑组件阻挡晶圆；弹性件设于防滑片座的容纳腔内，且套设于杆件的第一杆段外周，弹性件一端抵接至承载头主体朝向晶圆的一侧、另一端抵接至第二杆段的上表面，以能够对杆件由第一位置运动至第二位置提供动力并能够使杆件压缩弹性件以缩回到容纳腔中； 当承载头将晶圆抵靠在抛光单元时，防滑片主体缩回至安装孔内以处于第一位置；当承载头与抛光单元轴向分开时，防滑片主体由安装孔伸出并处于第二位置，并通过防滑组件阻挡晶圆从保持环与抛光单元分开形成的间隙处滑出； 防滑组件包括防滑顶销； 保持环下表面开设有配合槽，配合槽的边缘与保持环的内径相切,当晶圆滑出时，防滑顶销能够在相切点处对晶圆抵接，或配合槽的边缘向保持环的内径内部突出，当晶圆滑出时，防滑顶销能够在保持环的内径内部对晶圆抵接,以避免晶圆滑出被阻挡后仍有至少部分位于保持环下方。

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