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龙图腾网获悉安徽北方微电子研究院集团有限公司申请的专利一种用于裸芯片表面清洗的装置及其使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118969587B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410976452.7，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种用于裸芯片表面清洗的装置及其使用方法是由尤广为;臧子昂;孙静文设计研发完成，并于2024-07-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于裸芯片表面清洗的装置及其使用方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于裸芯片表面清洗的装置及其使用方法，其特征在于：基座A的制备：在一块铝合金板表面加工出一组浅槽，每个浅槽尺寸与摆放芯片的裸芯片盒尺寸相匹配，同时在铝合金板四周开出一圈台阶；盖帽B的制备：定制一块铝框，该铝框尺寸与基座A四周台阶尺寸相匹配；然后在铝框表面上粘接一层丝网；1将装有裸芯片的裸芯片盒放入基座A的浅槽内，将基座A放入等离子清洗机中，再将盖帽B盖在基座A上，然后对其进行等离子清洗；2取一只与裸芯片盒型号相同的空盒子，将其口对口对齐放置在一起，然后翻转过来，按照步骤1的方法进行等离子清洗。本发明优点：有效避免了清洗时芯片相互碰撞损伤；提高了清洗效率高。

本发明授权一种用于裸芯片表面清洗的装置及其使用方法在权利要求书中公布了：1.一种用于裸芯片表面清洗的装置，其特征在于由两部分组成： 1基座A的制备：在一块铝合金板表面加工出一组浅槽，使得每个浅槽长宽尺寸与摆放芯片的裸芯片盒尺寸相匹配，每个浅槽深度以裸芯片盒放入浅槽后超出浅槽表面1～2mm；同时在铝合金板四周开出一圈台阶，以便放置盖帽B； 2盖帽B的制备：定制一块铝框，该铝框尺寸与基座A四周台阶尺寸相匹配，即该铝框外圈长宽尺寸与基座A铝合金板外圈长宽尺寸相同，该铝框内圈长宽尺寸与基座A台阶外圈长宽尺寸相同，将铝框放置在基座A时，其高度略高出基座A表面1～2mm；然后在铝框表面上粘接一层丝网，即盖帽B制备完成； 包括如下的使用步骤： 1正面清洗：将装有裸芯片的裸芯片盒放入基座A的浅槽内，然后将基座A放入等离子清洗机中，再将盖帽B盖在基座A上，此时可看见裸芯片均在盖帽B的丝网下方，然后对其进行等离子清洗； 2背面清洗：取一只与裸芯片盒型号相同的空盒子，将其口对口对齐放置在一起，然后翻转过来，此时裸芯片背面朝上落入空盒子中，然后按照正面清洗的操作方法，完成裸芯片的背面等离子清洗。

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