华海清科股份有限公司齐心获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118927136B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411148444.X，技术领域涉及：B24B37/04；该发明授权一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备是由齐心;徐海洋设计研发完成，并于2024-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备，气动组件包括：汇流阀板，其为包括基板和两个侧板的U型板，所述基板和两个所述侧板之间限定出装配区域，所述汇流阀板的内部具有正压通道和负压通道，所述正压通道具有一个正压进口和多个正压出口，所述负压通道具有一个负压进口和多个负压出口；多个集装阀座，多个所述集装阀座均位于所述装配区域内，且均设置至所述汇流阀板，多个所述集装阀座彼此平行，所述集装阀座的第一进口与所述正压出口直接对接，所述集装阀座的第二进口与所述负压出口直接对接。根据本申请实施例的气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备，提升气动组件的集成度，精简结构，降低空间占用。
本发明授权一种气动组件、晶圆承载装置和化学机械抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种气动组件，其特征在于，包括： 汇流阀板，其为包括基板和两个侧板的U型板，基板和两个侧板之间限定出装配区域，汇流阀板的内部具有正压通道和负压通道，正压通道具有一个正压进口和多个正压出口，负压通道具有一个负压进口和多个负压出口，正压出口和负压出口均设置至两个侧板朝向装配区域的内壁； 多个集装阀座，多个集装阀座均位于装配区域内，且均设置至汇流阀板，多个集装阀座彼此平行且均与汇流阀板所在的平面垂直，集装阀座包括集装阀板和设置至所述集装阀板的压力调节阀、正负压切换阀、压力保持阀和大气切换阀，集装阀板的厚度与侧板的厚度相同，集装阀板与汇流阀板连接，集装阀座的第一进口和第二进口均设置至集装阀板的侧壁，第一进口与正压出口直接对接，第二进口与负压出口直接对接； 集装阀座通过直接对接方式与汇流阀板形成无管连接结构，以降低气体压力损失和泄漏风险。
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