山东大学王荣堃获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉山东大学申请的专利一种晶片连续剥离装置及晶片连续剥离方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118682323B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410787274.3，技术领域涉及：B23K26/53；该发明授权一种晶片连续剥离装置及晶片连续剥离方法是由王荣堃;李碧雪;徐现刚;陈秋;李树强;张百涛;车林林;张建飞;姚勇平设计研发完成，并于2024-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶片连续剥离装置及晶片连续剥离方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶片连续剥离装置及晶片连续剥离方法，包括如下步骤：采用超短脉冲激光在晶锭中形成多个剥离层，相邻剥离层之间的距离为晶片的厚度；将晶锭放置于提升平台上，调整提升平台的高度，使晶锭的最上方剥离层与夹爪的上表面平齐，然后夹爪夹紧晶锭；采用超声部件对晶锭的上表面施加超声，剥离层在超声作用下开裂，将晶片从晶锭上剥离，利用真空吸附部件将晶片从晶锭上移出，进行后续处理；松开夹爪，调整提升平台的高度，采用相同的方法制备后续的晶片。采用该方法可以实现晶片的连续制备，有效提高了晶片的制备效率。
本发明授权一种晶片连续剥离装置及晶片连续剥离方法在权利要求书中公布了：1.一种晶片连续剥离装置，其特征在于：包括工作基台、夹爪、超声部件和真空吸附部件； 其中，所述工作基台包括提升平台，提升平台相对工作基台可旋转、可上下移动设置； 夹爪套合设置于提升平台的外侧，夹爪闭合时形成中空圆柱体；被激光按照设定路线扫描，形成多层剥离层的晶锭被夹爪固定于提升平台上； 夹爪可随提升平台一同旋转，通过调节晶锭高度，在不重复移动晶锭水平位置的情况下得到一组晶片； 超声部件设置于夹爪的上方； 真空吸附部件设置于夹爪的上方，用于将形成的晶片移出； 真空吸附部件和超声部件集成安装于夹爪的上方，兼具输出超声波与真空吸引两种功能。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人山东大学，其通讯地址为：250100 山东省济南市山大南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励