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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种化学机械抛光装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117532495B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311785726.6，技术领域涉及：B24B37/10；该发明授权一种化学机械抛光装置是由边润立;尹影;李婷;庞浩;司马超;于然设计研发完成，并于2023-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种化学机械抛光装置在说明书摘要公布了：本发明提供的一种化学机械抛光装置，属于抛光技术领域，包括抛光头载体、弹性膜结构和压环结构，在抛光过程中，弹性膜上的气室结构气压增加，气室结构对基板施加一定的压力，同时压环结构上的抵接部与气室结构抵接并且限制气室结构在增压过程朝向远离基板方向膨胀，通过设置的压环结构，能够限制边缘的气室结构朝向远离基板方向的膨胀，使气室结构对基板压力分布的更加均匀，增加了基板的抛光效果。

本发明授权一种化学机械抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光装置，其特征在于，包括： 抛光头载体1，底部开设有凹槽；所述凹槽形成安装空间11； 弹性膜结构2，一侧适于设置在所述安装空间11内；所述弹性膜结构2另一侧适于与基板8连接；所述弹性膜结构2上设置有若干个气室结构21，通过调节气室结构21内的气压实现对基板8的抛光动作； 压环结构3，设置所述气室与所述抛光头载体1之间，所述压环结构3包括压环本体31和设置在所述压环本体31外周的抵接部32；所述抵接部32与所述气室结构21抵接，所述抵接部32阻止所述气室结构21膨胀过程中朝向远离所述基板8方向膨胀； 所述弹性膜结构2上设置有若干裙边结构22，相邻两个裙边结构22之间围成气室结构21；所述气室结构21包括边缘气室211与内侧气室212；所述边缘气室211位于所述弹性膜结构2的边缘；所述内侧气室212位于所述边缘气室211的内侧；在所述弹性膜结构2的边缘朝向远离所述基板8的方向延伸设置有围边结构23； 所述抵接部32为延伸结构，所述延伸结构设置在所述压环本体31靠近所述气室结构21的一端；所述延伸结构朝远离所述压环本体31方向延伸设置； 所述裙边结构22包括边缘裙边221，所述边缘裙边221设置在所述围边结构23的顶部，所述边缘裙边221包括第一裙边2211和第二裙边2212，所述第一裙边2211的一个侧壁与所述围边结构23固定连接，所述第一裙边2211和第二裙边2212围成所述边缘气室211，所述抵接部32主要与所述第一裙边2211的第一侧壁抵接。

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