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龙图腾网获悉西安奕斯伟材料科技股份有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司申请的专利硅片抛光装置和硅片抛光方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117532427B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311719600.9，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权硅片抛光装置和硅片抛光方法是由丁建行设计研发完成，并于2023-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本硅片抛光装置和硅片抛光方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种硅片抛光装置和硅片抛光方法，涉及半导体技术领域，硅片抛光装置包括：硅片抛光垫，硅片抛光垫上沿外周设置硅片载具；硅片载具上沿外周开设有硅片容纳孔；第一定位组件，用于向硅片抛光垫的载具定位区域发射第一定位信号，第一定位信号用于检测硅片载具在硅片抛光垫上的位置是否正确；抛光垫清洗组件，抛光垫清洗组件用于由硅片抛光垫的圆心向边缘或者由硅片抛光垫的边缘圆心喷射清洁液；第二定位组件，用于向硅片抛光垫的圆心发射第二定位信号，第二定位信号用于检测硅信号的传输路径是否经过硅片载具。本发明能够检测硅片载具在硅片抛光垫上的放置位置是否正确，以及检测出硅片抛光垫上未被所述硅片载具覆盖的半径进行清洗。

本发明授权硅片抛光装置和硅片抛光方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片抛光装置，其特征在于，包括： 形成为圆形的硅片抛光垫，所述硅片抛光垫上沿外周设置至少一个形成为圆形的硅片载具； 所述硅片载具上沿外周开设有至少一个硅片容纳孔，所述硅片容纳孔用于放置硅片； 设置于所述硅片抛光垫一侧的第一定位组件，所述第一定位组件用于向所述硅片抛光垫的载具定位区域发射第一定位信号，其中，所述载具定位区域为所述硅片载具在位置放置正确的情况下，所述硅片载具上未开设所述硅片容纳孔的部位在所述硅片抛光垫上的覆盖区域，所述第一定位信号用于检测所述硅片载具在所述硅片抛光垫上的位置是否正确； 设置于所述硅片抛光垫一侧的抛光垫清洗组件，所述抛光垫清洗组件用于由所述硅片抛光垫的圆心向所述硅片抛光垫的边缘或者由所述硅片抛光垫的边缘向所述硅片抛光垫的圆心喷射清洁液； 与所述硅片抛光垫上的所述硅片载具位于同一高度，且设置于所述硅片抛光垫一侧的第二定位组件，所述第二定位组件用于向所述硅片抛光垫的圆心发射第二定位信号，所述第二定位信号用于检测信号的传输路径是否经过硅片载具。

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