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龙图腾网获悉湖州维德光电科技有限公司申请的专利一种有效快速吹干晶圆片的送风装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117450763B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311331155.9，技术领域涉及：F26B11/18；该发明授权一种有效快速吹干晶圆片的送风装置是由高建锋设计研发完成，并于2023-10-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种有效快速吹干晶圆片的送风装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种有效快速吹干晶圆片的送风装置，涉及一种有效快速吹干晶圆片的送风装置。该有效快速吹干晶圆片的送风装置，包括支架、烘干箱、吹气管、锁紧机构、夹持机构和限位机构，所述吹气管管道上排列开设有多组呈45°角风向的出气口，所述夹持机构，包括T形支撑杆、连接杆、第一弹簧、夹持板、电动推杆、传动杆和载物台。该有效快速吹干晶圆片的送风装置，通过45°角风向的吹气管，能够使吹气管的风向在同一区域吹气，并使该区域的中心焦点居于晶圆片中心，使晶圆片快速有效的吹干，不会出现死角和漏角现象，通过4组夹持机构，当一组晶圆片吹干时，其他3组同时会受到吹风，从而减少下组吹干时间，最终提高整体晶圆片的吹干效率。

本发明授权一种有效快速吹干晶圆片的送风装置在权利要求书中公布了：1.一种有效快速吹干晶圆片的送风装置，其特征在于：包括支架1，所述支架1上固定有烘干箱2，所述烘干箱2内壁固定有4组吹气管3，所述烘干箱2底部固定有滑动导轨4，所述滑动导轨4上滑动连接有运输平台5，所述运输平台5一侧固定有密封板6，所述密封板6上固定有锁紧机构7，所述运输平台5表面固定有两块相对应的支撑板8，两所述支撑板8之间转动连接有转轴9，所述转轴9通过与支撑板8侧壁固定的电机10驱动连接，所述转轴9上圆周固定有4组夹持机构11，所述夹持机构11包括有两组T形支撑杆111，两所述T形支撑杆111顶部通槽内滑动连接有两连接杆112，两所述连接杆112通过第一弹簧113相连接，两连接杆112远离第一弹簧113的一端固定连接有夹持板114，两所述T形支撑杆111内部设置有电动推杆115，所述电动推杆115伸缩端转动连接有相对应的两传动杆116，两所述传动杆116远离电动推杆115的一端分别与两连接杆112转动连接，两所述T形支撑杆111相对应的一侧开设有移动槽117，所述移动槽117上滑动连接有载物台118，所述移动槽117内设置有限位机构12，所述限位机构12包括有限位块121和第二弹簧122，所述限位块121滑动连接于移动槽117内壁开设的限位槽内，所述第二弹簧122一端与限位块121固定连接，另一端与限位槽内壁固定连接，所述载物台118与移动槽117滑动连接的接触面上开设有卡槽123，所述卡槽123与限位块121相配合，所述锁紧机构7包括有锁紧外壳701，所述锁紧外壳701两侧开设有滑动槽702，所述滑动槽702内滑动连接有滑块703，所述滑块703上端固定连接有插块704，所述滑动槽702内设置有第三弹簧705，所述第三弹簧705一端与滑块703固定连接，另一端与滑动槽702固定连接。

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