兰州空间技术物理研究所陈学康获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉兰州空间技术物理研究所申请的专利一种基于微观输运机理的激光窗口抗污染装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117265485B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311048123.8，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种基于微观输运机理的激光窗口抗污染装置及方法是由陈学康;王瑞;吴敢;王兰喜;杨建平;尚凯文;魏广;格桑顿珠设计研发完成，并于2023-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于微观输运机理的激光窗口抗污染装置及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及一种基于微观输运机理的激光窗口抗污染装置及方法，所述装置包括：阳极圆柱、阴极圆柱、工件基座、扩散捕集管、激光窗口、真空沉积室，其中：所述激光窗口设置在最外层，两侧设置有所述真空沉积室；所述阳极圆柱与所述阴极圆柱放置在同一轴线上，为同轴式对置电极；所述阳极圆柱的中心轴线设计有大长径比的通孔、大长径比的所述扩散捕集管以及较大的空间扩散区；所述阳极圆柱与阴极圆柱的两侧设置有工件基座。本申请利用小孔、所述扩散捕集管和所述空间扩散区三级串联的方法，在实现激光束无衰减通过的同时，使真空镀膜过程中射向所述激光窗口的沉积射流被极大衰减，对激光窗口的污染降至可以忽略，具有科学和工业实用的潜力。
本发明授权一种基于微观输运机理的激光窗口抗污染装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基于微观输运机理的激光窗口抗污染装置，其特征在于，包括：阳极圆柱、阴极圆柱、工件基座、扩散捕集管、激光窗口、真空沉积室，其中： 所述激光窗口设置在最外层，两侧设置有所述真空沉积室； 所述阳极圆柱与所述阴极圆柱放置在同一轴线上，为同轴式对置电极； 所述阳极圆柱的中心轴线设计有大长径比的通孔、大长径比的所述扩散捕集管以及空间扩散区； 所述阳极圆柱与阴极圆柱的两侧设置有工件基座； 所述阳极圆柱中轴线上的所述大长径比的通孔在靠近出口的地方有一段直径≤1mm，长径比为2～5mm的阳极小孔； 大长径比扩散捕集管的直径≤6mm，长度为50mm～100mm，长径比不小于12； 所述空间扩散区的长度≤350mm； 所述空间扩散区与所述激光窗口之间还设置有粒子流限制结构，所述粒子流限制结构对等离子体起到限制作用。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人兰州空间技术物理研究所，其通讯地址为：730010 甘肃省兰州市城关区飞雁街100号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励