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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利一种基于CO2激光的烧蚀快速去除和熔融抛光组合的熔石英微透镜阵列制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117182322B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310945069.0，技术领域涉及：B23K26/362；该发明授权一种基于CO2激光的烧蚀快速去除和熔融抛光组合的熔石英微透镜阵列制备方法是由程健;张紫晓;陈继祥;陈明君;赵林杰;贺欣欣;杨子灿;张天浩设计研发完成，并于2023-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于CO2激光的烧蚀快速去除和熔融抛光组合的熔石英微透镜阵列制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种基于CO22激光的烧蚀快速去除和熔融抛光组合的熔石英微透镜阵列制备装置及制备方法，属于光化学加工领域。为解决针对熔石英类硬脆材料加工微透镜阵列时存在成本高、热稳定性差且加工精度不易控制，难以获得低成本、高质量微透镜阵列的问题。建立热力学和流体力学的耦合模型，对粗加工结构进行仿真进而确定粗加工参数，通过路径规划获得最佳扫描轨迹，采用高功率密度CO22激光烧蚀去除熔石英，实现微结构的快速成形；采用低功率密度CO22激光辐照微结构，实现其精密熔融抛光。通过使用一套CO22激光器加工微透镜阵列，降低了加工成本，避免了重复安装定位工件的问题，进一步提高加工效率，实现高效低成本制备高质量微透镜阵列。

本发明授权一种基于CO2激光的烧蚀快速去除和熔融抛光组合的熔石英微透镜阵列制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于CO2激光的烧蚀快速去除和熔融抛光组合的熔石英微透镜阵列制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 步骤一、根据入射激光波长、入射光斑直径、出射光斑直径和菲涅尔数，采用MonteCarlo法模拟得到不同参数微透镜阵列的匀化效果，综合考虑微透镜阵列的加工效果、高斯激光匀化效果和能量利用率，优化确定目标微透镜阵列的结构参数，包括微透镜口径L、微透镜高度H和微透镜曲率半径R1； 步骤二、建立热力学和流体力学的耦合模型，对CO2激光抛光粗加工结构过程进行有限元仿真，根据目标微透镜阵列结构及参数，确定粗初始微结构的加工结构参数，包括微柱的宽度、高度或宽高比； 步骤三、通过综合不同CO2激光烧蚀参数下的实验结果及烧蚀过程多物理场耦合模型的仿真结果得到CO2激光参数和扫描路径，利用得到的CO2激光参数和扫描路径快速去除熔石英得到粗加工结构； 步骤四、通过综合不同CO2激光抛光参数下的实验结果及抛光过程多物理场耦合模型的仿真结果得到CO2激光参数，利用得到的CO2激光参数对粗加工微柱阵列进行熔融抛光，得到熔石英微透镜阵列； 熔石英微透镜阵列制备的装置包括信号发生器、移动平台、工控机、振镜系统、CO2激光器和AOM声光调制器，所述移动平台包括X-Y移动平台和Z轴移动平台，所述X-Y移动平台用于夹持工件且使工件沿X轴或Y轴方向移动，所述振镜系统设置在Z轴移动平台上用于调整工件与振镜系统的间距，所述工控机用于控制移动平台和信号发生器，信号发生器用于控制CO2激光器和AOM声光调制器； 用于通过CO2激光器发射CO2激光，经AOM声光调制器调制后，通过反射镜反射进入振镜系统内的2D振镜，随后在振镜镜片的偏转作用及振镜系统内场镜的聚焦作用下作用到工件表面，完成激光烧蚀或抛光过程。

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