拓荆科技(上海)有限公司高鹏飞获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种薄膜沉积设备、方法及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117089824B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311310933.6，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权一种薄膜沉积设备、方法及存储介质是由高鹏飞;杨华龙;赵坤设计研发完成，并于2023-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种薄膜沉积设备、方法及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供了一种薄膜沉积设备、方法以及存储介质。所述薄膜沉积设备包括加热盘、支撑环、多个定位销以及抽气泵。所述加热盘用于加热晶圆，以在其正面沉积薄膜。所述支撑环嵌套于所述加热盘边缘的上侧，用于承载所述晶圆，以避免所述晶圆的背面与所述加热盘的直接接触。所述多个定位销设于所述加热盘与所述支撑环之间，用于抬起所述支撑环，以在所述加热盘与所述支撑环之间形成抽气间隙。所述抽气泵在沉积所述薄膜的过程中，经由所述抽气间隙抽取所述晶圆背面的反应气体，以抑制背面薄膜的形成。
本发明授权一种薄膜沉积设备、方法及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括： 加热盘，用于加热晶圆，以在其正面沉积薄膜； 支撑环，嵌套于所述加热盘边缘的上侧，用于承载所述晶圆，以避免所述晶圆的背面与所述加热盘的直接接触，其中，所述支撑环的内侧壁与所述加热盘的外侧壁保持不小于预设宽度的纵向间隙，以供抽气泵经由横向的抽气间隙及所述纵向间隙，抽取所述晶圆背面的反应气体； 多个定位销，设于所述加热盘与所述支撑环之间，用于抬起所述支撑环，以在所述加热盘与所述支撑环之间形成抽气间隙；以及 抽气泵，在沉积所述薄膜的过程中，经由所述抽气间隙抽取所述晶圆背面的反应气体，以抑制背面薄膜的形成。
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