应用材料公司田政获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利处理用于封装应用的经涂覆的柔性基板的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116981722B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080108170.5,技术领域涉及:C08J7/048;该发明授权处理用于封装应用的经涂覆的柔性基板的方法是由田政;拉詹·弗盖塞;雷纳·德穆斯;刘莎莎设计研发完成,并于2020-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本处理用于封装应用的经涂覆的柔性基板的方法在说明书摘要公布了:描述了一种处理经涂覆的柔性基板的方法。所述处理经涂覆的柔性基板的方法包括:提供所述经涂覆的柔性基板,所述经涂覆的柔性基板包含:柔性基板,所述柔性基板包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面,和至少一个阻挡层,所述至少一个阻挡层在所述柔性基板的所述第一表面上;和在实质上无氧的气氛中将带电粒子束同时地提供到所述经涂覆的柔性基板的所述至少一个阻挡层和所述柔性基板。
本发明授权处理用于封装应用的经涂覆的柔性基板的方法在权利要求书中公布了:1.一种处理用于封装应用的柔性基板的方法,包括: 提供柔性基板,所述柔性基板包括第一表面和与所述第一表面相对的第二表面; 沉积多个阻挡层,所述多个阻挡层在所述柔性基板的所述第一表面上;和 在实质上无氧的气氛中将带电粒子束同时地提供到所述多个阻挡层和所述柔性基板;和 并且确定沉积有所述多个阻挡层的所述柔性基板的水蒸气透过率和或氧透过率小于10; 其中在实质上无氧的气氛中将带电粒子束同时地提供到所述多个阻挡层和所述柔性基板包括调整所述带电粒子束的所述带电粒子的带电粒子能量E; 其中所述带电粒子束从所述柔性基板的所述第一表面穿透到平均穿透深度,所述平均穿透深度等于所述柔性基板的基板厚度TS的至少10%。
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