电子科技大学尹浩玮获国家专利权
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龙图腾网获悉电子科技大学申请的专利太赫兹近场探针针尖处理方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116879584B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310858210.3，技术领域涉及：G01Q70/16；该发明授权太赫兹近场探针针尖处理方法及装置是由尹浩玮;胡旻;张栋昌;张晓秋艳;许星星;唐福设计研发完成，并于2023-07-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本太赫兹近场探针针尖处理方法及装置在说明书摘要公布了：太赫兹近场探针针尖处理方法及装置，该方法包括以下步骤：太赫兹扫描近场显微镜控制探针针尖扫描修理层上的间隙；在扫描过程中，所述间隙的壁面撞击所述探针针尖的侧面，并在所述探针针尖形成第一段、以及位于所述第一段上方的第二段，所述第一段的横截面积从上至下逐渐减小、且第一段的最大的横截面积小于第二段的最小的横截面积。本发明能够利用太赫兹扫描近场显微镜控制探针针尖下针扫描间隙以使探针针尖侧壁在撞击间隙的过程中形貌发生变化得到多段式探针结构，该结构能够利用更细的第一段提升近场分辨率，利用更粗的第二段提高近场信噪比，在太赫兹频段更好地平衡了探针针尖的分辨率和近场信噪比。
本发明授权太赫兹近场探针针尖处理方法及装置在权利要求书中公布了：1.太赫兹近场探针针尖处理方法，其特征在于，包括以下步骤： 太赫兹扫描近场显微镜控制探针针尖扫描修理层上的间隙； 在扫描过程中，所述间隙的壁面撞击所述探针针尖的侧面，并在所述探针针尖形成第一段、以及位于所述第一段上方的第二段，所述第一段的横截面积从上至下逐渐减小、且第一段的最大的横截面积小于第二段的最小的横截面积； 其中，所述第一段较新针的尖端更细，所述第二段较新针的同一位置更粗； 还包括以下步骤： 太赫兹扫描近场显微镜控制探针针尖扫描所述修理层，基于采集得到的近场信号阶数确定探针针尖扫描的间隙，所述间隙包括第一间隙和第二间隙： 若所述近场信号阶数大于等于第一阶数，探针针尖扫描修理层上的第一间隙，形成的第一段的侧面包括多个平面； 若所述近场信号阶数小于第一阶数且大于等于第二阶数，探针针尖扫描修理层上的第二间隙，形成的第一段的侧面为曲面。
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