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龙图腾网获悉重庆天箭惯性科技股份有限公司申请的专利一种枫叶状MEMS环形振动陀螺谐振子结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116625343B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310714213.X，技术领域涉及：G01C19/5684；该发明授权一种枫叶状MEMS环形振动陀螺谐振子结构是由张婷婷;林日乐;曹凯聪;王广元;肖凌设计研发完成，并于2023-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种枫叶状MEMS环形振动陀螺谐振子结构在说明书摘要公布了：本发明提供一种枫叶状MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括：基底、环形谐振子、以及电极；环形谐振子和基底键合，包括：具有空腔的圆环状谐振质量、设于圆环状谐振质量的内腔中心的中心锚点、以及连接中心锚点和圆环状谐振质量之间的若干枫叶状弹性支撑梁结构；电极和基底键合，包括：驱动电极、检测电极、第一控制电极、第二控制电极、以及接地电极。本发明能避免应力集中，降低残余应力的影响；同时支撑结构简单，自然对称，工艺实现容易，受加工误差的影响小，可以保证工艺一致性，能有效提升工艺容差；悬臂梁内弧形的设计能提升结构刚度，提高谐振子结构的抗冲击性能；内弧形的设计能加大电极的有效面积，提高激励效率，提升谐振子结构的灵敏度。

本发明授权一种枫叶状MEMS环形振动陀螺谐振子结构在权利要求书中公布了：1.一种枫叶状MEMS环形振动陀螺谐振子结构，其特征在于，包括：基底、环形谐振子、以及电极； 所述环形谐振子和所述基底键合，包括：具有空腔的圆环状谐振质量、设于圆环状谐振质量的内腔中心的中心锚点、以及连接中心锚点和圆环状谐振质量之间的若干枫叶状弹性支撑梁结构； 所述电极和所述基底键合，包括：驱动电极、检测电极、第一控制电极、第二控制电极、以及接地电极； 其中，所述枫叶状弹性支撑梁结构包括：第一片状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁、第一内弧形弹性支撑悬梁、第二内弧形弹性支撑悬梁、第三片状弹性支撑悬梁和第四片状弹性支撑悬梁； 所述第一片状弹性支撑悬梁和所述第二片状弹性支撑悬梁的首端与所述中心锚点的外侧面固定连接，径向轴线相交于所述中心锚点的圆心，所述第一片状弹性支撑悬梁和所述第二片状弹性支撑悬梁的圆心角为45度；所述第一内弧形弹性支撑悬梁的首端与所述第一片状弹性支撑悬梁的尾端固定连接，所述第一内弧形弹性支撑悬梁与所述第一片状弹性支撑悬梁的夹角为95度；所述第二内弧形弹性支撑悬梁的首端与所述第二片状弹性支撑悬梁的尾端固定连接，所述第二内弧形弹性支撑悬梁与所述第二片状弹性支撑悬梁的夹角为95度； 所述第一内弧形弹性支撑悬梁的尾端与所述第三片状弹性支撑悬梁首端固定连接，所述第一内弧形弹性支撑悬梁与所述第三片状弹性支撑悬梁的夹角为150度；所述第二内弧形弹性支撑悬梁的尾端与所述第四片状弹性支撑悬梁首端固定连接，所述第二内弧形弹性支撑悬梁与所述第四片状弹性支撑悬梁的夹角为150度；所述第三片状弹性支撑悬梁和所述第四片状弹性支撑悬梁与所述圆环状谐振质量的内侧面固定连接，中心线与轴线重合。

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