万华化学集团电子材料有限公司谢毓获国家专利权
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龙图腾网获悉万华化学集团电子材料有限公司申请的专利一种带有终点检测窗口的化学机械抛光垫、制备方法及其应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116475937B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310635741.6，技术领域涉及：B24B37/20；该发明授权一种带有终点检测窗口的化学机械抛光垫、制备方法及其应用是由谢毓;王凯设计研发完成，并于2023-06-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带有终点检测窗口的化学机械抛光垫、制备方法及其应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种带有终点检测窗口的化学机械抛光垫、制备方法及其应用，所述终点检测窗在与抛光层交接处设有一个“肩部”，并且“肩部”硬度较窗口处硬度低。本发明的抛光垫窗口在抛光过程中能够避免传统带窗口的抛光垫所产生的漏液及抛光缺陷问题。
本发明授权一种带有终点检测窗口的化学机械抛光垫、制备方法及其应用在权利要求书中公布了：1.一种带有终点检测窗口的化学机械抛光垫，包括抛光层、缓冲层、粘着剂层和至少一个终点检测窗口，其特征在于，所述终点检测窗口的两条长边处至少各具有一个“肩部”，所述肩部延伸并嵌入与检测窗相连接的抛光层中，且窗口硬度变化率为2-20％，其中，窗口硬度变化率＝窗口硬度-“肩部”硬度窗口硬度。
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