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龙图腾网获悉浙江鑫钰新材料有限公司申请的专利一种平板玻璃用离子束形成模块及离子植入系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116344302B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310375247.0，技术领域涉及：H01J37/08；该发明授权一种平板玻璃用离子束形成模块及离子植入系统及方法是由陈维设计研发完成，并于2023-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种平板玻璃用离子束形成模块及离子植入系统及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种平板玻璃用离子束形成模块及离子植入系统及方法，其中平板玻璃用离子束形成模块包括有依次相连接的离子源组合单元、离子束质量和电荷比值分析磁场单元、拓展磁铁组合单元和准直磁铁组合单元；离子源组合单元中包括有并排设置的若干个离子源装置，离子源装置的输入端连接有供能供料装置；拓展磁铁组合单元中包括有若干组拓展磁铁，每组拓展磁铁的位置均分别与一个离子源装置产生的离子束的两侧相对应；准直磁铁组合单元位于若干个离子源装置产生的若干条离子束经离子束质量和电荷比值分析磁场单元偏转后的交汇处。本方案获得的平行带状离子束具有极高的有效高度，且离子束的束流宽度较小、离子密度较高且均匀度较好。

本发明授权一种平板玻璃用离子束形成模块及离子植入系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种平板玻璃用离子束形成模块，其特征在于，包括有依次相连接的离子源组合单元、离子束质量和电荷比值分析磁场单元、拓展磁铁组合单元和准直磁铁组合单元； 离子源组合单元用于产生离子束；离子源组合单元中包括有并排设置的若干个离子源装置，离子源装置的输入端连接有供能供料装置，供能供料装置为离子源装置提供所需的电压、气体和或真空度； 离子束质量和电荷比值分析磁场单元用于产生磁场、偏转离子束，并筛除离子束中的杂质； 拓展磁铁组合单元用于对离子束在高度方向上进行拓展拉伸；拓展磁铁组合单元中包括有若干组拓展磁铁，每组拓展磁铁的位置均分别与一个离子源装置产生的离子束的两侧相对应；在拓展磁铁朝向离子束行进方向下游的一侧延伸设置有拓展挡板； 准直磁铁组合单元用于对离子束进行准直或平行拉伸，使离子束中离子的行进方向均相互平行；准直磁铁组合单元位于若干个离子源装置产生的若干条离子束经离子束质量和电荷比值分析磁场单元偏转后的交汇处；准直磁铁组合单元包括有准直磁铁腔体，准直磁铁腔体内固定设置有准直磁铁组，准直磁铁腔体内部空间呈两端宽、中间窄的形状，中间较窄处对应准直磁铁组的工作端，准直磁铁组位于离子束的两侧；准直磁铁腔体的侧面开设有安装孔，用于密封地安装准直磁铁组； 在准直磁铁腔体的后方设置有束流检测装置，束流检测装置的工作面的高度大于离子束，束流检测装置设置在机械臂上，该机械臂用于移动束流检测装置的工作面位置以接收离子束或移开；在准直磁铁腔体的后方还设置有等离子体流枪。

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