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龙图腾网获悉西南交通大学申请的专利一种晶圆清洗装置、系统及系统的工作方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116313899B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310046898.5，技术领域涉及：H10P70/00；该发明授权一种晶圆清洗装置、系统及系统的工作方法是由陈磊;杨铸;钱林茂;雒春升;石鹏飞设计研发完成，并于2023-01-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆清洗装置、系统及系统的工作方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆清洗装置、系统及系统的工作方法，装置包括用于真空吸盘，真空吸盘上方设有一体式的清洗执行机构，清洗执行机构一端连接有驱动机构；清洗执行机构包括刷头，刷头套设在传动转轴上，传动转轴内设有至少一路清洗液管路，清洗液管路连接有管路支撑轴，清洗液管路的一端沿管路支撑轴的长度方向往外延伸，清洗液管路的另一端靠设有多个出液口，传动转轴和刷头相对于出液口的位置设有多个导液孔。本发明的结构更加紧凑，控制更加便捷，提高了晶圆的刷洗效率。通过刷头结构的设计使得刷头旋转过程中输液管路不会随着刷头一起进行旋转，从而清洗液不会伴随着刷头的旋转运动产生飞溅和浪费。

本发明授权一种晶圆清洗装置、系统及系统的工作方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括用于将晶圆吸附在其上表面的真空吸盘1，所述真空吸盘1上方设有一体式的清洗执行机构2，所述清洗执行机构2一端连接有驱动机构3； 所述清洗执行机构2包括设于真空吸盘1上方的刷头21，所述刷头21套设在传动转轴22上，所述传动转轴22内部设有至少一路清洗液管路23，所述清洗液管路23连接有管路支撑轴24以实现在所述传动转轴22内的固定，所述清洗液管路23的一端沿所述管路支撑轴24的长度方向往外延伸以连接清洗液储备装置，所述清洗液管路23的另一端靠近所述真空吸盘1上方的位置设有多个出液口，所述传动转轴22和所述刷头21相对于所述出液口的位置设有多个导液孔，以便清洗液依次通过所述出液口和所述导液孔喷淋在晶圆表面； 所述驱动机构3包括第一电机31，所述第一电机31的输出端设有传输轴32，所述传输轴32的一端通过转向齿轮33与所述传动转轴22连接，所述传输轴32上套接有滚珠丝杠升降结构34，所述滚珠丝杠升降结构34通过第二电机35进行驱动； 所述出液口设置为垂直于晶圆表面的出液柱25，且靠近晶圆表面中心的出液柱25的直径大于其他出液柱25的直径； 所述刷头21和所述传动转轴22的相对位置均设有多个矩形导液口，每一矩形导液口与其中一个出液口一一对应设置；所述刷头21和所述传动转轴22的相对位置均设有多个圆形导液孔27和多个内凹式的导流槽28，以便清洗液经过所述导流槽28从所述圆形导液孔27导出； 所述清洗液管路23外侧设有密封结构29，所述密封结构29相对于所述出液口的位置开设有直径小于所述出液口的通孔，所述密封结构29的一侧设有迷宫式阻流件29A，所述密封结构29的端部设有耐腐蚀的密封圈29B； 所述第一电机31的输出端通过挠性联轴器4与所述传输轴32连接。

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