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龙图腾网获悉中国工程物理研究院激光聚变研究中心申请的专利一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116297527B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310452976.1，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法是由黄进;蒋晓东;王成程;周晓燕;刘太祥设计研发完成，并于2023-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法，具体涉及光学元件精密检测技术领域，包括如下步骤，激光连续泵浦系统设计、微区干涉显微成像系统设计、自动控制及数据采集系统设计，能够在几个小时的时间内完成100mm口径光学元件表面热敏性缺陷的快速高灵敏、高分辨检测，突破传统热敏性缺陷检测手段“检测精度与检测效率不可兼得”的技术瓶颈。

本发明授权一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法在权利要求书中公布了：1.一种快速检测光学元件表面热敏性缺陷分布的方法，其特征在于，包括如下步骤： 检测系统的设计： S1.激光连续泵浦系统：激光器输出波长与光学元件一致或接近，通过调节反射镜使激光束到达靶面后与光学元件表面干涉显微成像的区域精确重合，光束整形器用于将靶面光斑整形为平顶均匀分布并使得光斑大小与光学元件表面干涉显微成像的视场大小一致，实现对光学元件表面的均匀强激光泵浦； S2.微区干涉显微成像系统：用于对光学元件表面激光泵浦的区域进行微区干涉显微成像，采用典型的迈克尔逊干涉成像系统，结合横向分辨率与检测速度的需要，配置不同倍率的可切换显微物镜； S3.自动控制及数据采集系统：包括夹持光学元件并实现二维程控移动的电动平移台、连续激光器输出控制单元以及显微图像采集处理单元，实际检测过程中电动平移台按照程序设定坐标及路径进行X、Y方向的步进移动，移动步距与显微成像视场匹配，每步进一次则由连续激光器输出控制单元控制单元关闭激光输出，采集未泵浦条件下光学元件表面的原始显微干涉图像，然后打开激光器输出光闸再采集一次激光输出条件下光学元件表面的热泵浦显微干涉图像； 成像CCD实时采集并输出热泵浦前后同一检测区域的显微干涉图像，通过图像处理提取出因热敏缺陷吸收激光能量产生热包而导致的干涉条纹变化，避免光学元件表面非热敏性缺陷产生干涉条纹畸变而干扰检测结果； 根据提取出的条纹畸变信息，结合条纹扭曲因子与表面轮廓起伏的理论计算公式，计算出光学元件表面显微成像视场内局域的热包形变程度，最终反应出热敏性缺陷的相对光吸收强度； 通过步进扫描与图像拼接相结合，可以实现光学元件全口径范围内热敏缺陷二维分布及相对光吸收强度信息，用于评价光学元件表面的缺陷控制水平并预判光学元件在强激光加载下的抗损伤性能。

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