浙江晶盛机电股份有限公司曹建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江晶盛机电股份有限公司申请的专利一种单晶炉的提拉轴、提拉装置、单晶炉以及拉晶方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116180227B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211105332.7,技术领域涉及:C30B27/02;该发明授权一种单晶炉的提拉轴、提拉装置、单晶炉以及拉晶方法是由曹建伟;朱亮;傅林坚;叶钢飞;阮文星;梁晋辉设计研发完成,并于2022-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶炉的提拉轴、提拉装置、单晶炉以及拉晶方法在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体生长领域,尤其是涉及一种单晶炉的提拉轴,应用于单晶炉中,包括:硬轴,所述硬轴呈长直状态且为竖直布置;软轴,所述软轴的第一端连接于所述硬轴的底部,所述软轴与所述硬轴共轴设置;夹具组件,所述夹具组件连接于所述软轴的第二端上,所述夹具组件用于夹持籽晶。解决了拉晶质量不高的技术问题,达到提高晶体质量的技术效果。
本发明授权一种单晶炉的提拉轴、提拉装置、单晶炉以及拉晶方法在权利要求书中公布了:1.一种单晶炉的提拉轴,应用于单晶炉中,其特征在于,包括: 硬轴100,所述硬轴100呈长直状态且为竖直布置; 软轴200,所述软轴200的第一端连接于所述硬轴100的底部,所述软轴200与所述硬轴100共轴设置;以及 夹具组件300,所述夹具组件300连接于所述软轴200的第二端上,所述夹具组件300用于夹持籽晶。
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