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苏州铼铂机电科技有限公司谢华伟获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州铼铂机电科技有限公司申请的专利芯片的端面角度研磨抛光装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116141111B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211630927.4,技术领域涉及:B24B7/22;该发明授权芯片的端面角度研磨抛光装置是由谢华伟设计研发完成,并于2022-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。

芯片的端面角度研磨抛光装置在说明书摘要公布了:本发明公开了一种芯片的端面角度研磨抛光装置,包括机台、磨抛盘、角度设定机构、快拆固定座、快拆活动件和样品夹具,磨抛盘和角度设定机构设置于机台,快拆活动件与快拆固定座可拆卸连接,样品夹具可拆卸连接于快拆活动件的端部,样品夹具包括夹具本体和内压板,夹具本体设有夹持槽和一对相互平行的安装面,内压板固定于夹具本体并与夹持槽配合用于夹持芯片样品,夹持槽的贯通方向与安装面的法向正交或平行,角度设定机构通过快拆固定座、快拆活动件用于驱动样品夹具转动以改变夹持槽的贯通方向与磨抛盘的转动平面形成的夹角。本发明适用同一样品夹具加工不同端面角度,同一芯片同一样品夹具多端面多角度的精密加工。

本发明授权芯片的端面角度研磨抛光装置在权利要求书中公布了:1.一种芯片的端面角度研磨抛光装置,其特征在于,包括机台、磨抛盘、角度设定机构、快拆固定座、快拆活动件、样品夹具以及设置在所述机台上的摆动机构,所述磨抛盘和所述角度设定机构设置于所述机台,所述快拆活动件与所述快拆固定座可拆卸连接,所述样品夹具可拆卸连接于所述快拆活动件的端部,所述样品夹具为棱柱状,所述样品夹具包括夹具本体和内压板,所述夹具本体设有夹持槽和一对相互平行的安装面,所述内压板固定于所述夹具本体并与所述夹持槽配合用于夹持芯片样品,所述棱柱的其中一对侧面为所述安装面,所述夹持槽的贯通方向与所述棱柱的棱平行,所述夹持槽的贯通方向与所述安装面的法向正交或平行,所述角度设定机构通过所述快拆固定座、所述快拆活动件用于驱动所述样品夹具转动以改变所述夹持槽的贯通方向与所述磨抛盘的转动平面形成的夹角,所述快拆固定座上设有燕尾槽夹,所述燕尾槽夹包括槽夹底板和活动侧板,所述槽夹底板与所述活动侧板之间形成燕尾槽,所述活动侧板与所述槽夹底板的间距可调,所述槽夹底板上设有用于限制所述快拆活动件的卡销,所述快拆活动件的至少一侧设有与所述燕尾槽匹配的燕尾凸台,所述燕尾凸台上设有与所述卡销配合折线槽,所述快拆活动件的端部为U状,所述样品夹具与所述U状的臂部连接,所述摆动机构包括摆动驱动源和摆动支架,所述角度设定机构连接于所述摆动支架,所述摆动驱动源驱动所述摆动支架转动,所述摆动支架的转动平面与所述磨抛盘的转动平面平行。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州铼铂机电科技有限公司,其通讯地址为:215500 江苏省苏州市常熟市高新技术产业开发区金都路8号10幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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