湖南大学潘安练获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南大学申请的专利微米发光器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116093217B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310247217.1,技术领域涉及:H10H29/01;该发明授权微米发光器件及其制备方法是由潘安练;李亦;李梓维;李东设计研发完成,并于2023-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本微米发光器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种微米发光器件及其制备方法,包括:分别提供驱动基板和发光器件层;于所述驱动基板的第一表面依次形成第一键合层、第二键合层;于所述发光器件层的第一表面依次形成第三键合层、第四键合层;分别对所述第二键合层和所述第四键合层进行图形化处理,以在所述第二键合层上形成第一图案层,在所述第四键合层上形成第二图案层;将所述第一图案层和所述第二图案层进行预键合形成第一预键合结构;对所述第一预键合结构进行退火及加压处理。采用本方法给全彩Micro‑LED的垂直堆叠提供了方案,可以解决垂直堆叠过程中传统键合材料无法直接实现同种颜色像素在水平面上的n极互连、阵列化刻蚀难度大、键合材料寿命短的问题。
本发明授权微米发光器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种微米发光器件的制备方法,其特征在于,所述方法包括: 分别提供驱动基板和发光器件层; 于所述驱动基板的第一表面依次形成第一键合层、第二键合层; 于所述发光器件层的第一表面依次形成第三键合层、第四键合层;其中,所述第一键合层、所述第二键合层、所述第三键合层和所述第四键合层分别为透明导电层; 分别对所述第二键合层和所述第四键合层进行图形化处理,以在所述第二键合层上形成第一图案层,在所述第四键合层上形成第二图案层;其中,所述第一图案层中的图案与所述第二图案层中的图案能够互相嵌套; 将所述第一图案层和所述第二图案层进行预键合形成第一预键合结构; 对所述第一预键合结构进行退火及加压处理以形成待阵列结构;其中,所述退火及加压处理的退火温度分别低于所述第一键合层和所述第三键合层的形成环境温度,高于所述第二键合层和所述第四键合层的形成环境温度; 对所述待阵列结构进行阵列化处理; 所述发光器件层为红色发光器件层,所述方法还包括: 分别提供绿色发光器件层和蓝色发光器件层; 于所述红色发光器件层的第二表面依次形成第五键合层、第六键合层;其中,所述红色发光器件层的第一表面和第二表面相对; 于所述绿色发光器件层的第一表面依次形成第七键合层、第八键合层,第二表面依次形成第九键合层、第十键合层;其中,所述绿色发光器件层的第一表面和第二表面相对; 于所述蓝色发光器件层的第一表面依次形成第十一键合层、第十二键合层; 分别对所述第六键合层、所述第八键合层、所述第十键合层和所述第十二键合层进行图形化处理,以在所述第六键合层上形成第三图案层,在所述第八键合层上形成第四图案层,在所述第十键合层上形成第五图案层,在所述第十二键合层上形成第六图案层;其中,所述第三图案层中的图案与所述第四图案层中的图案能够互相嵌套,所述第五图案层中的图案与所述第六图案层中的图案能够互相嵌套; 将所述第三图案层和所述第四图案层进行预键合形成第二预键合结构; 对所述第二预键合结构进行退火及加压处理; 将所述第五图案层和所述第六图案层进行预键合形成第三预键合结构; 对所述第三预键合结构进行退火及加压处理以形成待阵列结构。
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